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近日，三英精控牵头承担的2020年国家重点研发计划课题“大型显示面板前端制造工艺纳米尺度物性在线测量与质量监控系统”在武汉完成项目验收。项目向基金委高技术中心的专家们现场展示了在工况环境中进行大型OLED显示面板纳米尺度量测的工作，包括多晶硅晶粒分析和RDL的尺度精测等项目指标内容。

项目执行团队密切合作，克服了新冠疫情期间物料供应，研发工作和合作交流的种种困难，按时完成了项目。项目研发了一套可以用质量管控的纳米测量系统，包括大型实验平台原子力显微镜（见图），与AGV/MGV对接的全自动装样和测量寻址系统，并实时将分析数据上抛到EDA产线质量管控系统。项目还开发了产线高噪音环境进行原位噪音补偿的新技术，用于保证高信噪比的纳米形貌测量。根据国家情报所和上海情报所的查新报告，该项目实现了多项关键技术的创新，并在产线噪音环境中的大尺寸试样的纳米测量达到了预期水平。

电子显示屏制造业近年来持续保持强劲增长势头，年产值规模不断扩大。然而，我国在显示制造领域仍存在测量技术瓶颈，尤其是在大型显示面板的检测方面。当被测面板尺寸＞1.5m时，将远超现有纳米测量设备的承载范围，只能抽样并裁剪后进行离线检测，造成大型显示面板检测效率低、成本高、良率低下的问题。针对上述挑战，由三英精控牵头联合包括天津大学，沈阳自动化所，广东工业大学，深圳明锐仪器和华星半导体公司等多家优秀高校院所和企业，共同开展产学研合作，完成了具有精密纳米测量指标的支持大尺度试样的大型原子力显微镜的研发。并于近日在显示屏产线上实现了在线检测，达到了预定目标，有效解决了显示制造行业在大型显示面板在线检测方面所面临的难题。

此次原子力显微镜在大型显示面板在线检测方面的成功应用，将促进电子显示屏制造业的升级和发展。不仅提升了电子显示屏制造业的产品质量和生产效率，也为我国在显示制造领域的竞争力提升提供了有力支撑。

这台应用于大型显示面板在线检测的国产原子力显微镜样机的诞生，不仅标志着三英精控在高精尖科技设备领域迈出了坚实的一步，更彰显了我司在超精密运动控制领域的强大实力和创新能力。三英精控针对超大型薄试样的长机械回路，构建了跨尺度高速高精度运动平台，采用宏-微-纳三级7个自由度的联动协同精准控制，同时保证了大行程、高精度。

纵观市场，无论是半导体制造、新材料研发，还是生物医学等领域，对于纳米尺度的物性在线测量与质量监控都有着迫切的需求。相信随着这台原子力显微镜的进一步完善和推广应用，它将在更广泛的领域中发挥重要作用。同时，我们也期望与众多合作伙伴加强合作，推动科技创新和产业升级的深度融合，为实现科技强国梦贡献更多的力量。