等離子去膠機VP-RS15采用真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置技術(shù),真空腔體不銹鋼材質(zhì),功率500W,VP-RS系列頻率13.56MHz,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運行3分鐘,腔體溫度不高于45℃,不損傷樣品,適用于晶圓去膠、芯片去膠、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
廣州善準科技有限公司(Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd)位于中國廣州,專注于等離子去膠機、真空等離子處理儀、旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀、旋轉(zhuǎn)型等離子體低溫灰化儀和石英管真空封管機的研究、開發(fā)和制造。善準人經(jīng)過多年的刻苦鉆研,抽絲剝繭,反復測試、成功獲得“一種低溫旋轉(zhuǎn)型石英等離子表面處理裝置:ZL202020226847.2)”等十項國家技術(shù)及軟件著作權(quán),成為國內(nèi)掌握產(chǎn)生13.56MHz頻率,保證滿功率清洗30分鐘真空腔體內(nèi)溫度不超過32攝氏度的等離子生產(chǎn)廠家,應(yīng)用此技術(shù)的VP-R系列迅速成為行業(yè)“爆款”,補充國內(nèi)技術(shù)空白,性能比肩一線廠家;研發(fā)生產(chǎn)的旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀和旋轉(zhuǎn)型等離子體低溫灰化儀成功推出,進一步鞏固了善準科技在真空等離子清洗行業(yè)的地位;而回應(yīng)市場需求,解決樣品在無氧無水條件下進行PLASMA處理的痛點而推出的手套箱專用分體式真空等離子處理儀,則驗證了善準人與時俱進的研發(fā)能力和敢為人先的風格;VS-Q系列石英管真空封管機解決實驗室安全、簡易地真空密封石英管的難點,是對石英管真空密封技術(shù)的重新定義。