MX63和MX63L半導體與平板顯示器檢測顯微鏡特別適合尺寸最大300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質量檢測。其采用的模塊化設計可讓您根據需要選擇組件，獲得根據應用定制的系統。
這兩款符合人體工學設計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時保持檢測者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結合使用情況下，可以簡化從觀察到報告生成的整體工作流。
半導體與平板顯示器檢測顯微鏡規格
| MX63 | MX63L | ||
| 光學系統 | UIS2光學系統(無限遠校正系統) | ||
| 顯微鏡鏡架 | 反射光照明 | 白光LED (帶有光強度控制器) 12伏100瓦鹵素燈, 100瓦汞燈 明場/暗場/分光鏡組件手動切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。) 通過手動操作調整3位編碼分光鏡組件 內置電動孔徑光闌（針對所有物鏡預設，暗場自動*打開） 觀察模式：明場、暗場、微分干涉相襯（DIC）*1、簡易偏光 *1、熒光 *1、紅外 *1 和MIX觀察（4個定向暗場）*2 *1選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀察配置 | |
| 透射光照明 | 透射光照明裝置：需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光鏡（NA 0.5）和孔徑光闌 - MX-TILLB：聚光鏡（NA 0.6），孔徑光闌以及視場光闌 光源：LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素燈) 光導: LG-SF 觀察模式: 明場、簡易偏光 | ||
| 聚焦 | 行程：32毫米 每轉行程微調：100微米 最小分度: 1微米 用于粗調的上限限位器和扭矩調節 | ||
| 最大載荷重量(包括載物臺和支架) | 8公斤 | 15公斤 | |
| 觀察筒 | 寬視場(FN 22毫米) | 正像三目鏡筒：U-ETR4 正像、可調傾角三目鏡筒: U-TTR-2 倒像三目鏡筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察) 倒像雙目鏡筒: U-BI30-2 倒像可調傾角雙目鏡筒：U-TBI30 | |
| 超寬視場(FN 26.5毫米) | 正像可調傾角三目鏡筒：MX-SWETTR (光程切換100% (目鏡) : 0 (相機) 或 0 : 100%) 正像可調傾角三目鏡筒: U-SWETTR (光程切換100% (目鏡) : 0 (相機) 或 20% : 80%) 倒像三目鏡筒: U-SWTR-3 | ||
| 電動物鏡轉換器 | 明場 明場和暗場 | ||
| 載物臺 (X × Y) | 帶內置離合驅動的同軸右手柄：MX-SIC8R 帶內置離合驅動的同軸右手柄：MX-SIC6R2 | 帶內置離合驅動的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程: 356 x 305毫米 透射光照射區域：356 x 284毫米 | |
| 重量 | 約35.6公斤 (顯微鏡架26公斤) | 約44公斤 (顯微鏡架28.5公斤) | |
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