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TH511 TH512 TH513半導體C-V特性分析儀
簡介
TH510系列半導體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當前半導體功率器件發(fā)展趨勢，針對半導體材料及功率器件設(shè)計的分析儀器。
儀器采用了一體化集成設(shè)計，二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試，無需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù)，單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試，適用于生產(chǎn)線快速測試、自動化集成。
CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導體材料及功率器件的研發(fā)及分析。
儀器設(shè)計頻率為1kHz-2MHz，VGS電壓可達±40V，VDS電壓可達±200V/±1500V/±3000V，足以滿足大多數(shù)功率器件測試。
性能特點
• 一體化設(shè)計：
LCR+VGS低壓源+VDS高壓源+通道切換+上位機軟件
• 單管器件（點測）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)
三種測試方式
• 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)
同屏一鍵測量及顯示
• 標配2通道，可擴展至6通道，可測單管、多芯或模組器件
（TH513僅1通道）
• CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描
• 電容快速充電技術(shù)，實現(xiàn)快速測試
• 接觸檢查Cont
• 通斷測試OP_SH
• 自動延時設(shè)置
• 柵極電壓VGS：0 - ±40V
• 漏極電壓VDS：0 - ±200V/±1500V/±3000V
• 10檔分選
應(yīng)用
■ 半導體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光
電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析
■ 半導體材料
晶圓切割、C-V特性分析
■ 液晶材料
彈性常數(shù)分析
■電容元件
電容器C-V特性測試及分析，電容式傳感器測試分析
TH511 TH512 TH513半導體C-V特性分析儀技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | TH511 | TH512 | TH513 | ||
通道數(shù) | 2（可選配4/6通道） | 1 | |||
顯示 | 顯示器 | 10.1英寸(對角線)電容觸摸屏 | |||
比例 | 16:9 | ||||
分辨率 | 1280×RGB×800 | ||||
測量參數(shù) | Ciss、Coss、Crss、Rg ，四參數(shù)任意選擇 | ||||
測試頻率 | 范圍 | 1kHz-2MHz | |||
精度 | 0.01% | ||||
分辨率 | 10mHz | 1.00000kHz-9.99999kHz | |||
100mHz | 10.0000kHz-99.9999kHz |
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1Hz | 100.000kHz-999.999kHz | ||||
10Hz | 1.00000MHz-2.00000MHz |
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測試電平 | 電壓范圍 | 5mVrms-2Vrms | |||
準確度 | ±（10%×設(shè)定值+2mV） | ||||
分辨率 | 1mVrms | 5mVrms-1Vrms | |||
10mVrms | 1Vrms-2Vrms |
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VGS電壓 | 范圍 | 0 - ±40V | |||
準確度 | 1%×設(shè)定電壓+8mV | ||||
分辨率 | 1mV | 0V - ±10V | |||
10mV | ±10V - ±40V |
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VDS電壓 | 范圍 | 0 - ±200V | 0 - ±1500V | 0 - ±3000V | |
準確度 | 1%×設(shè)定電壓+100mV | ||||
輸出阻抗 | 100Ω，±2%@1kHz | ||||
數(shù)學運算 | 與標稱值的絕對偏差Δ，與標稱值的百分比偏差Δ% | ||||
校準功能 | 開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD、夾具校準 | ||||
測量平均 | 1-255次 | ||||
AD轉(zhuǎn)換時間（ms/次） | 快速+：2.5ms(＞5kHz) 快速：11ms 中速：90ms 慢速：220ms | ||||
最高準確度 | 0.5%（具體參考說明書） | ||||
Ciss、Coss、Crss | 0.00001pF - 9.99999F | ||||
Rg | 0.001mΩ - 99.9999MΩ | ||||
Δ% | ±（0.000% - 999.9%） | ||||
多功能參數(shù)列 表掃描 | 點數(shù) | 50點，每個點可設(shè)置平均數(shù)，每個點可單獨分選 | |||
參數(shù) | 測試頻率、Vg、Vd、通道 | ||||
觸發(fā)模式 | 順序SEQ：當一次觸發(fā)后，在所有掃描點測量，/EOM/INDEX只輸出一次 | ||||
步進STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點測量，每點均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器 結(jié)果只在最后的/EOM才輸出 | |||||
圖形掃描 | 掃描點數(shù) | 任意點可選，最多1001點 | |||
結(jié)果顯示 | 同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線 | ||||
顯示范圍 | 實時自動、鎖定 | ||||
坐標標尺 | 對數(shù)、線性 | ||||
掃描參數(shù) | Vg、Vd | ||||
觸發(fā)方式 | 手動觸發(fā)一次，從起點到終點一次掃描完成，下個觸發(fā)信號啟動新一次掃描 | ||||
結(jié)果保存 | 圖形、文件 | ||||
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