Microprobe-進(jìn)口微探針臺(tái)系統(tǒng)
2024-09-11微探針臺(tái)系統(tǒng)micro probe system可植入顯微鏡中,把顯微鏡改造成探針臺(tái)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)微操作和微測(cè)量功能。
微探針臺(tái)系統(tǒng)能夠把現(xiàn)有光學(xué)顯微鏡升級(jí)成高精度和高穩(wěn)定性的壓電微操縱儀器,非常適合緊湊空間和較短工作距離的顯微鏡使用。適合如下種類的顯微鏡:
正置顯微鏡和倒置顯微鏡
探針臺(tái)
半導(dǎo)體檢測(cè)儀器
原子力顯微鏡
手套箱和各種環(huán)境箱
這款
微探針臺(tái)系統(tǒng)非常適合較小的半導(dǎo)體器件的測(cè)試,可配備4個(gè)微操縱器模塊,可用于電控放大倍數(shù)的顯微鏡和XY樣品臺(tái)。
這款
微探針臺(tái)系統(tǒng)可以根據(jù)應(yīng)用要求進(jìn)行晶圓測(cè)試配置,滿足亞微米尺度電學(xué)性能測(cè)試需要。我們可為您提供XYZ晶圓加載卡盤,提供制冷和加熱功能等集成方案。
微探針臺(tái)系統(tǒng)典型應(yīng)用
電學(xué)微探針:測(cè)量半導(dǎo)體器件或晶圓的電學(xué)性能
材料測(cè)試:測(cè)試新材料的電學(xué)性能
微操縱:對(duì)微小器件進(jìn)行微操作微操縱
微探針臺(tái)系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
顯微鏡部分
光學(xué)分辨率:約1.1um
放大倍數(shù):2.8X~35.5X(物鏡10X)
工作距離:33.5mm
照明光源:同軸照明LED,光強(qiáng)可調(diào)
相機(jī):1920x1200像素,USB3.0接口
焦距可調(diào)
樣品臺(tái)規(guī)格:手動(dòng)XY位移臺(tái),行程10mm x 10mm, 分辨率0.5mm
樣品尺寸:25.4mm 直徑
電學(xué)探針規(guī)格:
接口:4個(gè)BNC接口
電壓范圍:+/-100V
電流范圍:1pA~100mA
電阻:約為3.5V
探針臺(tái)模塊規(guī)格
自由度:4個(gè)獨(dú)立的自由度X,Y,Z,Qz
最大速度:2.5mm/s(XY), 150mrad/s(Z)
運(yùn)動(dòng)范圍: Stepping模式:20x20mm(XY), +/-180度(Qz), 42度(Z)
最大定位分辨率:Stepping模式下:50nm(X,Y), 120nm(Z)
探針規(guī)格:0.02'' (0.51mm) shank直徑,針尖半徑5nm~10um
孚光精儀(中國(guó))有限公司
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