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真空探針臺 外置探針臂

2024-12-19

產      地:
暫無
所在地區:
北京北京市
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真空探針臺 外置探針臂


真空探針臺 外置探針臂


半導體封裝材料真空探針臺產品參數:

腔體

樣品臺尺寸2英寸

樣品固定:樣品固定

觀察窗口2英寸

真空度10-6 torr

針臂接口:最6個探針臂接口

其他接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式:液氮 / 液氦

控制方式:開循環手動

溫度范圍:77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K


顯微鏡

X-Y-Z 移動行程:50mm×25mm×13mm

結構:外置探針臂,真空波紋管結構

移動精度:10μm / 1μm

光源:外置LED環形光源 / 同軸光源

CCD:200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素


探針座

X-Y-Z 移動行程:X-Y-Z 移動行程

結構:外置探針臂,真空波紋管結構

移動精度:10μm / 1μm


探針夾具

線纜:同軸線 / 三軸線 / 射頻線

漏電精度:10pA / 100fA / 10fA

固定探針:彈簧固定 / 螺絲固定

接頭類型:BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口


探針

射頻支持:DC-67GHZ

針尖直徑:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質:鎢鋼 / 鈹銅

真空組件:分子泵組 / 機械泵

冷源組件:50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機

外形重量:730mm×750mm×1265mm(長寬高)      約100kg



防震桌參數

氣浮隔振防震桌

隔振方式:隔振方式

材質:不銹鋼 / 碳鋼

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:<0.8μm

孔距:25×25mm

孔徑:M6

平臺尺寸(長寬):可定制

平臺厚度:50 / 100 / 200mm

固有頻率:.5Hz - 2Hz

支撐腿:氣浮支撐腿

支撐腿數量:4個 / 6個

支撐腿高度:800mm±10mm

其他:內芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制


真空探針臺 外置探針臂



產品參數:

腔體

樣品臺尺寸4英寸

樣品固定:樣品固定

觀察窗口:4英寸

真空度:10-6 torr

探針臂接口:最多6個探針臂接口

其他接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式:制冷機

控制方式:閉循環自動控制

溫度范圍:4.5K ~ 450K

溫度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K


顯微鏡

X-Y-Z 移動行程:50mm×25mm×13mm

結構:外置探針臂,真空波紋管結構

移動精度:10μm / 1μm

光源:外置LED環形光源 / 同軸光源

CCD:200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素


探針座

X-Y-Z 移動行程:X-Y-Z 移動行程

結構:外置探針臂,真空波紋管結構

移動精度:10μm / 1μm


探針夾具

線纜:同軸線 / 三軸線 / 射頻線

漏電精度:10pA / 100fA / 10fA

固定探針:彈簧固定 / 螺絲固定

接頭類型:BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口


探針

射頻支持:DC-67GHZ

針尖直徑:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質:鎢鋼 / 鈹銅

真空組件:分子泵組 / 機械泵

冷源組件:50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機

外形重量:730mm×750mm×1265mm(長寬高)      約100kg



防震桌參數:

阻尼隔振防震桌

隔振方式:高級復合材料隔振

材質:不銹鋼 / 碳鋼

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:<0.8μm

孔距:25×25mm

孔徑:M6

平臺尺寸(長寬):可定制

平臺厚度:50 / 100 / 200mm

固有頻率:6Hz - 8Hz

支撐腿:阻尼支撐腿

支撐腿數量:4個 / 6個

支撐腿高度:800mm±10mm

其他:內芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制


真空探針臺 外置探針臂

真空探針臺 外置探針臂



真空探針臺 外置探針臂




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