長處
紅外透射膜厚度監(jiān)測器可測量電池隔膜等半透明片材、黑色光刻膠等低反射膜和硅的厚度。 它是一種紅外吸收涂層測厚儀,可應(yīng)用于從實驗室級別到生產(chǎn)過程中的在線檢查的所有情況。
它是一種紅外薄膜測厚儀,采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學系統(tǒng),可通過同時測量 100 多個波長的光譜儀,準確測量薄膜厚度、密度、成分等多個參數(shù)。
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測量半透明片材、
低反射膜、硅等的厚度,這在光學干涉測量法中是困難的2
微型光纖探頭
由于使用了 30 毫米的小型反射探頭,
它可以安裝在設(shè)備或生產(chǎn)線的狹小空間內(nèi)。
此外,由于探頭僅通過
光纖連接到主機,因此具有出色的耐環(huán)境性。3
高速測量:
在
100 個點或更高處同時采樣 950~1650 nm 的近紅外波長可實現(xiàn)短至 1 毫秒的高速采樣。
可以在生產(chǎn)線上進行實時檢測和測量。
由于干涉濾光片不旋轉(zhuǎn),因此具有出色的耐用性和可靠性。4
厚度測量重復(fù)性:0.1% 或更低 (3σ)
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兩種可選的測量算法
測量算法 校準樣品 測量目標 Beer-Lambert 法 1 種 僅厚度 最小二乘回歸 2 種或更多類型 倍數(shù)(厚度、密度、特定成分的混合量等)
測量示例(鋰離子電池隔膜)
可以同時測量厚度和涂層重量。
測量示例(硅襯底上黑色光刻膠的膜厚)
可以測量硅襯底上黑色光刻膠的薄膜厚度,而使用反射光譜法使用光學干涉涂層測厚儀很難做到這一點
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