SpecEl-2000-VIS 橢偏儀
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- 公司名稱 杭州譜鐳光電技術有限公司
- 品牌
- 型號 SpecEl-2000-VIS
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2015/8/13 10:38:12
- 訪問次數 1230
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橢偏儀
SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。波長范圍200-900nm。SpecEl通過PC控制來實現折射率,吸光率及膜厚的測量。
集成的精確測量系統
SpecEl由一個集成的光源,一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構成,并配有一個32位操作系統的PC.該可測量0.1nm-5um厚的單膜,分辨率0.1nm,測量時間5-15秒,并且折射率測量可達0.005%。
配置說明
波長范圍: | 380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選) |
光學分辨率: | 4.0 nm FWHM |
測量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
入射角: | 70° |
膜厚: | 單透明膜1-5000 nm |
光點尺寸: | 2 mm x 4 mm (標準) 或 200 µm x 400 µm (可選) |
采樣時間: | 3-15s (zui小) |
動態記錄: | 3 seconds |
機械公差 (height): | +/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° |
膜層數: | 至多32層 |
參考: | 不用 |