探針

ThermaLever^TM探針

ThermaLever^TM區(qū)別于以往市面上的普通，它是一種批量生產(chǎn)的熱，主要成分為改性硅元素。微懸臂的末端裝有加熱裝置，可使以一種可控的速率快速升溫至400℃。而普通則經(jīng)常需要一些手工制作，或者由于電阻由金屬薄膜制成而僅能升至較低的溫度。此外，ThermaLever^TM的另一個(gè)重要優(yōu)勢(shì)是針尖的末端半徑。以前的熱末端半徑總是比標(biāo)準(zhǔn)AFM大很多。而 ThermaLever^TM提供的橫向分辨率則大大超過其他AFM。Anasys 公司有兩種型號(hào)的ThermaLever^TM，AN2-200和AN2-300.所有這些的的針尖高度在3μm到6μm之間，微懸臂厚度在2μm左右。AN2-300的彈簧常數(shù)較低，主要用于接觸模式。而AN2-200共振頻率較高，主要用于間歇接觸模式。下圖所示的是AN系列的SEM圖。左圖顯示了整個(gè)微懸臂的的形貌而右圖顯示的是針尖附近的形貌。

下表所列的是兩種型號(hào)熱的主要技術(shù)參數(shù):

SThM

SThM的可測(cè)量*溫度，因而能實(shí)現(xiàn)對(duì)試樣表面的導(dǎo)熱系數(shù)或溫度變化的掃描成像。表面形貌和熱性能成像圖的分辨率一般低于100nm。懸臂由SiN制成，內(nèi)嵌薄金屬線且金屬線的zui高阻抗位置在針尖附近。由于使用了金屬薄膜電阻，這類不像ThermaLever能升至很高的溫度。為了便于操作和使用，這類的針尖通常先預(yù)裝在支架上并采用電氣連接。下圖所示的是GLA的SEM掃描圖。左圖顯示了整個(gè)懸臂的形貌，右圖是針尖附近形貌。