ME-210 橢偏儀
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- 公司名稱 北京飛凱曼科技有限公司
- 品牌
- 型號 ME-210
- 產地 13718810335 Info@pcm-bj.com QQ1606737747
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2017/7/13 6:33:33
- 訪問次數 595
產品標簽
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北京飛凱曼公司提供光子晶體探測器型成像橢偏儀。這種光子晶體探測器型的成像橢偏儀是有日本PHL公司*,并應用到的測試中。日本PHL公司在光子晶體的研究和制造領域世界,由此開發出的光子晶體探測器型具有測試速度快、測量準確、免維護、價格低廉等特點已經在光學薄膜、半導體薄膜、有機薄膜等領域有著廣泛的應用。該可快速準確測量薄膜的厚度和折射率的分布。
相比傳統的光譜型,光子晶體探測器型避免了探測器的機械運動。使得測試速度更快、測試更加準確、成本更加低廉。
ME-210型光子晶體探測器型特點:
- 可用于8英寸樣品的3D快速成像
- 可用于厚度差異小于1nm以內的薄膜的快速和高精度成像
- 超高速測量,zui高速度可達20000點/分鐘
- 超高分辨率的測量,zui小面積可達50um2
- 可進行透明基底上的薄膜的測試
技術規格:
型號 | ME-210/110 |
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重復性精度 | 0.1nm(厚度), 0.001(折射率) | |
測量速度 | 每分鐘1000個點以上 | |
光源 | 636nm 半導體激光器 | |
測量點尺寸 | 0.5mm2 |
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入射角 | 70度 | |
樣品尺寸 | 8英寸(可選12英寸) |
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儀器尺寸和重量 | 650x650x1740mm/120kg |
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數據接口 | 千兆以太網(攝像機信號),RS-232C | |
電源 | AC100-240V(50/60Hz) | |
軟件 | SE-View |
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