白光干涉，作為一種廣泛應(yīng)用的三維表面形貌測(cè)量技術(shù)，其縱向分辨率可達(dá)到亞納米級(jí)別。

視場(chǎng)內(nèi)信息采集與數(shù)據(jù)處理同時(shí)進(jìn)行，大面積區(qū)域的高度信息采集時(shí)間短。

多用于科學(xué)研究與質(zhì)量管理領(lǐng)域，典型應(yīng)用包括不同表面粗糙度樣品的三維表面形貌測(cè)量（如晶片結(jié)構(gòu)、鏡面、玻璃與金屬）、臺(tái)階高度測(cè)定和曲面精度測(cè)量（如微型透鏡）。

SmartWLI系列白光干涉三維輪廓儀創(chuàng)新性地整合白光干涉技術(shù)，自主研發(fā)的SmartWLI 軟件可以對(duì)整個(gè)測(cè)量過(guò)程進(jìn)行監(jiān)測(cè)與控制。

其核心算法基于GBS*研發(fā)與測(cè)量經(jīng)驗(yàn)，具備高效、穩(wěn)定、精度高等特點(diǎn)。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

-非接觸

-納米級(jí)精度

-測(cè)量時(shí)間短

-性能可靠

結(jié)構(gòu)：

LED光源（軟件控制）

壓電馬達(dá)，用于垂直方向物鏡移動(dòng)，范圍400μm

控制盒

CCD攝像頭（1624 x 1234 像素）GigE接口

PC機(jī)或筆記本電腦 Win7系統(tǒng)，NVIDIA GPU 用于超快數(shù)據(jù)處理，液晶顯示器，鍵盤(pán)，鼠標(biāo)

GBS公司開(kāi)發(fā)SmartWLI軟件，用于形貌測(cè)量及通過(guò)直接接口輸出三維數(shù)據(jù)進(jìn)入MountainsMap圖片形貌圖片處理軟件，包括文件編制MountainsMap圖片形貌軟件，用于圖片處理，數(shù)據(jù)分析與生成報(bào)告。

技術(shù)參數(shù)：

應(yīng)用領(lǐng)域：

-表面形貌和粗糙度測(cè)定

-2D顯微鏡升級(jí)為3D顯微鏡

-曲面精度測(cè)量

配件：

為實(shí)現(xiàn)樣品表面三維形貌的高精度（納米級(jí)）測(cè)量要求，輪廓儀需配合防震臺(tái)使用。GBS公司*ACCURION I4主動(dòng)式（充氣）防震臺(tái)來(lái)降低測(cè)量過(guò)程中的震動(dòng)噪聲影響。

MountainsMAP^®表面分析軟件與三維可視化測(cè)量報(bào)告

作為一款高品質(zhì)的表面成像與分析軟件，MountainsMAP^®適合實(shí)驗(yàn)室、研究機(jī)構(gòu)及工廠各類(lèi)機(jī)能表面的設(shè)計(jì)、測(cè)試或制造設(shè)備使用。

MountainsMAP^®擁有一整套全面的解決方案，于表面外觀及形貌的成像與分析，提供詳盡的三維可視化測(cè)量報(bào)告。