主要用途：
◆  粗糙和光滑表面的測量和顯示
◆  亞微米范圍內的微觀形貌測量
◆  金相測量
◆  非接觸式表面輪廓的計量

主要特點
◆  0,1mm2到0,7mm2視場
◆  采用釘合方式擴大視場
◆  配置物鏡切換盤
◆  確定垂直分辨率來設定測量時間
◆  橫向分辨率可達1祄，垂直分辨率zui高可到5 nm 
◆  具有采用微透鏡掃描盤的快速光學系統
◆  全自動數據評估
◆  實驗室和在線兩用設計

主要優點：
◆  高保真輪廓復現，對物體三維結構快速，非接觸式的定性和量化
◆  測量結果與材料表面性能無關
◆  根據用戶需求配置系統和軟件
◆  無人干預全自動測量過程
◆  將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
◆  采用壓電驅動或步進電機進行垂直掃描

軟件:
◆  Windows XP 操作系統
◆  測量和評估軟件包括下列功能：  水平調整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除， 過濾，  數學計算，FFT，ACF，2D/3D 粗糙度參數，面積的測定， 斜度和波度的分布狀態及其它。 
◆  用戶特定要求的計算方法

技術數據：