一、儀器整機主要性能參數：
1、波長范圍：190～500nm（3600L/mm光柵）或190～800nm（2400L/mm光柵）；
2、分辨率： 0.006nm（3600L/mm光柵）或0.01nm（2400L/mm光柵）；
3、波長示值誤差和重復性：波長示值誤差≤0.02nm，重復性≤0.003nm；
4、掃描步距：0.0004nm；
5、重復性：RSD≤1.0%；
6、穩定性：RSD≤1.5%；
7、檢出限：ppb級；
8、分析元素范圍：70余種金屬與非金屬元素；
9、線性范圍：7個數量級以上，且自吸效應極低；
10、分析速度：每分鐘掃描25個元素以上；
11、等級證書：國家計量器具型式許可*（且遠優于*）。
12、必須有生產許可證：且規格要求滿足，測量范圍：190-500nm

二、儀器各部件詳細參數：
射頻發生器（RF）
（1）電路類型：電感反饋自激式振蕩電路、同軸電纜輸出、匹配調諧、取功率反饋信號，進行閉環自動控制；
（2）工作頻率：40.68MHz±0.05%；
（3）頻率穩定性：≤0.05%；
（4）輸出功率：800～1200W；
（5）輸出功率穩定性：≤0.2%；
（6）電磁場泄漏射強度：距機身20cm 處，電場強度：E＜2 V / m。
進樣裝置
（1）輸出工作線圈：內徑25mm、3匝；
（2）炬管：三同心型，外徑20mm的石英炬管；
（3）同軸型噴霧器：外徑6mm；
（4）雙筒型霧室：外徑35mm；
（5）觀測位置：縱向觀察高低和橫向觀察前后，可通過軟件直觀地調為*；
（6）氬氣流量計規格和載氣壓力表規格：
1、等離子氣流量計：(100～1000)L/h (1.6～16L/min)；
2、輔助氣流量計：(10～100)L/h (0.16～1.66L/min)；
3、載氣流量計：(10～100)L/h (0.16～1.66L/min)；
4、載氣穩壓閥：(0～0.4Mpa)L/h；
5、冷卻水：水溫：15～25℃ 流量＞5L/min 水壓＞0.1Mpa 冷卻水：電阻率＞1MΩ。
分光器
（1）光路：Czerny－Turner；
（2）焦距：1000mm；
（3）光柵規格：離子刻蝕全息光柵；刻線密度3600L/mm，刻線面積：80×110mm(或刻線密度2400L/mm，刻線面積：80×110mm)；
（4）線色散率倒數：0.26nm/mm；
（5）分辨率：≤0.006nm全波段；
（6）掃描波長范圍：190～500nm，3600L/mm光柵；190～800nm，2400 L/mm光柵；
（7）掃描步距：0.0004nm；
（8）出射、入射狹縫：20μm×25μm；
（9）反射鏡規格：（78×105×16）mm；
（10）透鏡：φ30，1:1成像；
（11）反射鏡規格：凹型；
（12）分光器恒溫裝置：26℃±1℃。
測光裝置
（1）光電倍增管規格：R212UH或R928；
（2）光電倍增管負高壓：-200～-1000V，自動調節，穩定性＜0.05%；
（3）光電倍增管電流測量范圍：10-4～10-12A；
（4）信號采集為V/F交換：1mV對應100Hz；
（5）采樣電路：使用國外高精密度運算放大器，使儀器的靈敏度和精確度大大提高；
（6）儀器數據采集：通過串口與電腦連接，從而簡化了電路使連接更加便捷；
（7）測光方式：單、多元素順序測量。
操作軟件：
（1）操作系統：Windows XP 操作平臺；
（2）測定波長數：任意選擇；
（3）分析速度：每分鐘25個元素以上；
（4）數據庫：譜線庫11萬條以上；
（5）多窗口：在測量完一次結果后可以在顯示窗口保留上次結果同時、測量下一樣品；
（6）標準加入法：軟件要有標準加入法，以便在不同條件和應用中下使用；
（7）分析模式：軟件默認*分析模式，擁有儀器診斷、譜圖分析及幾種測量方式和幾種積分模式，單位任選等多種功能；
（8）歷史數據庫：在歷史數據庫中，可以同時可選擇性地打印想要打印的批次分析結果；
（9）數據輸出：軟件支持激光打印機打印分析結果。
 

ICP稀土元素檢測光譜儀應用領域

稀土行業：稀土元素，分辨率高、檢出限低；
 

硅工業：磁性材料加工工業；
 

冶金工業：可分析對金屬材料質量的影響很大AS、Bi、Pb、Sb、Sn等雜質元素；
 

地質、礦石分析：巖石樣品中鈣、鎂、鈉、鐵、銅、錳、鋅、鈷、鎳、金、銀等元素的測定。