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激光橢圓偏振測厚儀;橢偏儀
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本公司生產的橢偏儀適用于大學和科研院所,具有高精度和完整的測量功能。儀器的狀態調整、參數設置、數據采集和處理,均通過計算機自動完成。從紅外至紫外的寬廣光譜區,波長連續可調,入射角度在20度到90度內連續可調。產品主要有兩個系列:1.全自動高精度橢圓偏振光譜儀(ELLIP-SR型)-專業型 主要適用于科研院所的信息光電子功能薄膜、體材料的光學性質和結構特性研究,可被研究材料種類包括:金屬和合金、元素和化合物半導體、絕緣體、超導體、磁性和磁光材料、有機材料、多層薄膜材料等。在測量中,可按研究條件同時對入射角和波長進行自動精細掃描,增加研究的靈活性,便于用戶獲得更多的光譜信息進行數據分析,提高研究的質量和可靠性。該光譜儀的性能指標達到同類技術的*水平 。主要技術參數: 波長范圍 250-830nm(可按需拓展) 光源 氙燈入射角范圍 20-90度 波長分辨率 1.0nm 入射角范圍 20-90度 入射角精度 0.001度 橢偏參數精度 D±0.02度;Y±0.01度 光學常數精度 優于0.5% 膜厚準確度 ±0.1nm 測量方式 同步 定標方式 自洽、 探測器 光電倍增管 主要用途: 1. 各種功能材料的光學常數測量和光譜學特性分析; 2. 測量薄膜材料的折射率和厚度; 測量對象包括:金屬、半導體、超導體、絕緣體、非晶體、超晶格、磁性材料、薄膜材料、光電材料、非線性材料; 測量光學常數:復折射率的實虛部、復介電常數的實虛部、吸收系數a、反射率R. 2.全自動單波長橢圓偏振光譜儀(ELLIP-ER型)-普及型 。本公司研制的固定波長可變入射角橢圓偏振光譜儀,廣泛適用于大學教學和工業生產領域,具有很高的性價比,為一款普及型的光譜測試儀器。 主要技術參數:波長 650nm 光源 半導體激光器 入射角范圍 20-90度 測量模式 反射 測量方式 旋轉起偏和檢偏器,自動完成信號測量 實測光學常數種類 復折射率 復介電常數 吸收系數 反射率 膜厚精度 ±1nm 系統定標方式 自洽、定標 主要用途: 1.各種功能材料的光學常數測量和光譜學特性分析; 2.測量薄膜材料的折射率和厚度; 測量對象包括:金屬、半導體、超導體、絕緣體、非晶體、超晶格、磁性材料、光電材料、非線性材料;測量光學常數:復折射率的實虛部、復介電常數的實虛部、吸收系數a、反射率R.
橢偏儀
激光橢圓偏振測厚儀(ELLIP-EY)
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