PLD-01/PLD-02 美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD
- 公司名稱 北京中精儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 PLD-01/PLD-02
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/11/28 14:44:57
- 訪問次數(shù) 3427
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,冶金,航天,汽車 |
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美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD應(yīng)用
● 多元素復(fù)合氧化物
● 高溫超導(dǎo)材料
● 磁性材料、金屬材料
● 低蒸汽壓材料
● MEMS
基本系統(tǒng)
腔室及真空泵
12’’ 快速門,250l/s 分子泵,全量程規(guī)
沉積源
靶臺,6X1’’(25mm) 靶,可以水平旋轉(zhuǎn),可Z方向移動(dòng)
樣品臺
1’’(25mm)大小,可加熱至800oC(1000oC可選),可水平旋轉(zhuǎn),可Z方向移動(dòng)
在線工藝監(jiān)控
石英晶振沉積速率監(jiān)控儀
自動(dòng)化
自動(dòng)化裝置:
控制樣品溫度和旋轉(zhuǎn)
靶臺的位置控制
靶臺旋轉(zhuǎn)
氣體控制
速率及厚度計(jì)算(利用QCM輸出)
激光束掃描(可選)
激光束屏蔽控制
自動(dòng)泵抽和充氣
差分泵抽結(jié)構(gòu)
RHEED分析(可選)
裝載室壓強(qiáng)監(jiān)控(可選)
美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD主要特點(diǎn)
RF射頻等離子源(氧,氮)
升級高真空
增加進(jìn)樣室
升級為Laser-MBE (L-MBE)系統(tǒng)
自動(dòng)軟件控制
提供更潔凈的薄膜生長環(huán)境,控制解決方案