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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>光學測量儀>橢偏儀>EM12 精致型多入射角激光橢偏儀

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EM12 精致型多入射角激光橢偏儀

具體成交價以合同協議為準

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


   公司成立于2004年,在同行業中Z早獲得*,擁有多項,其中“太陽能電池測試系統”、“光譜儀”、“精密位移臺”三大系列產品被市科委、市*等5部門評為“北京市自主創新產品”,并列入政府采購目錄。公司于2009年9月取得ISO9001質量體系認證。

賽凡擁有兩大核心技術:光譜測試技術,精密運動控制技術

     主要產品系列:太陽能電池光譜響應/IPCE/QE測試儀,太陽能電池I/V性能測試儀,太陽模擬器,橢偏儀,CCD光電性能測試儀,熒光/拉曼/發射/透反吸/探測器光譜測試系統,光柵光譜儀,CCD光譜儀,科研級光源,光電探測器,數據采集器,精密定位系統,電動/手動精密位移臺,光具座,光學平臺等。

     公司自成立以來,始終秉持質量*,滿足用戶的經營理念,在注重提升自身研發能力的同時,和多家科研院所保持緊密合作關系,共同創建光電實驗室,保證產品的*性和適用性。其中太陽能光伏實驗室,為各類太陽能電池(單晶硅,多晶硅,薄膜電池,染料敏化電池等)的光譜響應測試及膜厚控制提供了完整解決方案。

      我們始終如一,用心為您提供良好完整的解決方案,為您提供專業高效的技術支持,為您提供快速響應的售后服務,我們的追求就是讓您始終滿意,始終信任,始終選擇 !


單色儀,光源,太陽模擬器,太陽能電池測試系統,平移臺,精密調整系統,光學平臺

EM12是采用量拓科技*的測量技術,針對中端精度需求的研發和質量控制領域推出的精致型多入射角激光橢偏儀。 
EM12可在單入射角度或多入射角度下對樣品進行準確測量??捎糜跍y量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數k;也可用于同時測量塊狀材 料的折射率n和消光系數k;亦可用于實時測量納米薄膜動態生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數k。多入射角度設計實現了納米薄膜的厚度測量。

    EM12采用了量拓科技多項技術。

特點:

  • 次納米量級的高靈敏度

    *的采樣方法、高穩定的核心器件、高質量的制造工藝實現并保證了能夠測量極薄納米薄膜,膜厚精度可達到0.2nm。

  • 1.6秒的快速測量

    水準的儀器設計,在保證精度和準確度的同時,可在1.6秒內快速完成一次測量,可對納米膜層生長過程進行測量。

  • 簡單方便的儀器操作

    用戶只需一個按鈕即可完成復雜的材料測量和分析過程,數據一鍵導出。豐富的模型庫、材料庫方便用戶進行高級測量設置。

應用:

  • EM12適合于中端精度要求的科研和工業環境中的新品研發或質量控制。
  • EM12可用于測量單層或多層納米薄膜層構樣品的薄膜厚度、折射率n及消光系數k;可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數k;可用于實時測量快速變化的納米薄膜的厚度、折射率n和消光系數k。
  • EM12可應用的納米薄膜領域包括:微電子、半導體、集成電路、顯示技術、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁質存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等??蓱玫膲K狀材料領域包括:固體(金屬、半導體、介質等),或液體(純凈物或混合物)。

技術指標:

項目

技術指標

儀器型號

EM12

激光波長

632.8nm (He-Ne Laser)

膜厚測量重復性(1)

0.2nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)

折射率測量重復性(1)

2x10-3 (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)

單次測量時間

與測量設置相關,典型1.6s

zui大的膜層范圍

透明薄膜可達4000nm

吸收薄膜則與材料性質相關

光學結構

PSCA(Δ在0°或180°附近時也具有*的準確度)

激光光束直徑

1-2mm

入射角度

40°-90°可手動調節,步進5°

樣品方位調整

Z軸高度調節:±6.5mm

二維俯仰調節:±4°

樣品對準:光學自準直和顯微對準系統

樣品臺尺寸

平面樣品直徑可達Φ170mm

zui大外形尺寸

887 x 332 x 552mm (入射角為90º時)

儀器重量(凈重)

25Kg

選配件

水平XY軸調節平移臺

真空吸附泵

軟件

ETEM軟件:

l 中英文界面可選;

l 多個預設項目供快捷操作使用;

l 單角度測量/多角度測量操作和數據擬合;

l 方便的數據顯示、編輯和輸出

l 豐富的模型和材料數據庫支持

注:(1)測量重復性:是指對標準樣品上同一點、同一條件下連續測量25次所計算的標準差。

性能保證:

  • 穩定性的He-Ne激光光源、*的采樣方法,保證了高穩定性和高準確度
  • 高精度的光學自準直系統,保證了快速、高精度的樣品方位對準
  • 穩定的結構設計、可靠的樣品方位對準,結合*的采樣技術,保證了快速、穩定測量
  • 分立式的多入射角選擇,可應用于復雜樣品的折射率和厚度的測量
  • 一體化集成式的儀器結構設計,使得系統操作簡單、整體穩定性提高,并節省空間
  • 一鍵式軟件設計以及豐富的物理模型庫和材料數據庫,方便用戶使用  


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