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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>MILA-5000Series RTP快速退火爐

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MILA-5000Series RTP快速退火爐

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凱戈納斯儀器商貿(上海)有限公司是由瑞典Hot Disk有限公司注資成立的,是一家朝氣蓬勃的儀器商貿公司,在市場上享有良好的聲譽。公司成立近二十年來,致力于成為熱物性設備的系統供應商,主要業務是在中國和一些鄰國開發、制造并銷售瑞典Hot Disk品牌熱常數分析儀。目前也代理日本ai-phase公司測試薄膜材料熱擴散系數的設備,以及加拿大Thermtest公司所產的傳統平板熱流計法和熱帶法導熱儀等先進熱物性分析儀器。多年來,公司也是以色列Nanonics公司近場光學顯微鏡的中國國內供應商。近來,我們增加了日本Advance Riko公司紅外金面反射爐、日本SUGA公司SPS(放電等離子燒結爐)設備的國內代理。

如需了解更多請訪問凱戈納斯網站和公眾號。



導熱系數儀;原子力顯微鏡;近場掃描光學顯微鏡;激光拉曼光譜

應用領域 綜合

RTP快速退火爐特點:

快速加熱及冷卻能力;

可在任意氣氛中使用;

實時觀測試樣;

精確的溫度控制;

RTP快速退火爐技術參數:

型號

MILA-5000Series

溫度范圍:

室溫~1200℃(zui高)

zui大加熱功率:

50℃/s(50~1200℃)真空

45℃/s(50~1200℃)氮氣氛圍

溫度均勻性:

±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空

±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮氣氛圍

加熱氣氛:

大氣、真空、惰性氣氛環境下

試樣尺寸:

MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)

程序模組:

溫度VS時間設定、Step數256、Program數32(zui大);

PID+Fuzzy控制、自動微調、USB通訊、自動/手動切換;

凱戈納斯儀器商貿(上海)有限公司是由瑞典Hot Disk有限公司注資成立的,是一家朝氣蓬勃的儀器商貿公司,在市場上享有良好的聲譽。公司成立近二十年來,致力于成為熱物性設備的系統供應商,主要業務是在中國和一些鄰國開發、制造并銷售瑞典Hot Disk品牌熱常數分析儀。

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