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flex-85 激光面板亮點修復

參考價 100000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準

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  SEMISHARE 森美協爾有限公司,是集自主研發/設計、生產、銷售為一體的探針測試集成系統和激光修復設備及解決方案供應商,致力于為用戶提供基于探針系統標準的精密測量測試方案,主營業務包括半導體行業、光電、集成電路及封裝測試中復雜器件的精密檢測系統及激光修復系統的設計制造,有超過10年的行業經驗和技術積累;目前設有半導體營銷事業部和半導體設備制造工廠,在多個細分市場建立了穩定的客戶關系和供應體系。
  經過不斷的前沿技術創新,SEMISHARE可提供更完善的產品解決方案,幫助改善芯片產業的產品品質及可靠性,縮短研發時間和器件制造工藝成本。

 

半導體檢測設備:探針臺,I-V/C-V參數測試儀,網絡分析儀,激光系統,金相顯微鏡,EMMI微光顯微鏡,X射線,C-SAM超聲波探測,電子顯微鏡

型號Flex-85
外形3,000mm(寬) x2,500mm(長) x 2,500 mm (高 ) 
重量7500KG左右
電力需求380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
修復能力可修復樣品尺寸3~85寸
可修復范圍顯示區內任何位置
修復時間120S左右每個像素(尺寸200um*100um的pixel)
適用產品類型Cell段產品(OLED面板,IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板),模組段產品(已貼偏光片,帶TP模組)
遮光性修補顏色在模組背光下不可見
平臺功能Gantry結構龍門式
X-Y-Z 行程2000*1200*50mm
移動精度0.1um
X-Y運動速度0~200mm/s
Z 運動速度0~2mm/s可調
定位AOI坐標自動定位
光學特性光路系統倍率 50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects
物鏡切換速度0.2~0.7s
聚焦激光自動聚焦
光學分辨率0.7um
相機200W/500W像素工業相機
激光特性激光系統激光切割系統(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object,532nm)
能量調節精度0-1000 steps
0-*
激光波長1064nm,532nm,355nm
脈寬500fs
光斑尺度0.8~1.5um @100X  object
1.0~3.0um @50X  object
激光壽命>10年,維護間隔>6,000小時
掃描面能量均勻性優于5% IR
工作模式Scan掃描式 
掃描形狀可任意定義形狀
工藝參數軟件可以添加任意組工藝參數
控制工作模式自動修復,實現數據的自動導入和輸出,聯機通訊
手動或者半自動修復
上下片機械手或者流水線
CIM系統
減震主動式減震系統,能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動
工業PC23寸顯示器&電腦:i7 處理器,1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤),8G內存,1G獨立顯卡,DVD-ROM
通訊接口RS232/EtherCAT/GPIB等
安全整機帶屏蔽罩,操作人員在屏蔽罩外操作
緊急開關EMO
限位sensor,運動平臺和激光系統限位互鎖
Interlock報警,自動關閉系統(軟件設置為可選) 
應用TFT-LCD Panel亮點的修復,OLED Panel亮點的修復


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