維意真空鍵合機方案介紹
一、真空室
維意真空鍵合機爐體采用304優(yōu)質不銹鋼氬弧焊接而成，整體結構為立式圓柱形，上下優(yōu)質304不銹鋼法蘭封頭，雙層水冷；爐體上安裝ISO100真空抽氣口、KF16充氣口、KF16電阻規(guī)真空測量接口、KF16排氣口、CF35電極法蘭接口、Φ6-K型熱電偶接口等；上蓋安裝固定法蘭與水冷上壓頭壓氟膠圈密封，上蓋安裝提手和導向孔，與爐體上法蘭安裝的導向柱配合實現方便操作定位的作用，水冷下壓頭通過焊接波紋管法蘭與下蓋壓氟膠圈密封。系統(tǒng)極限真空優(yōu)于6.67*10-3Pa
二、加熱器
加熱器采用AC220V供電，電阻絲采用進口電阻材料，極限溫度壽命長，zui高溫度可達1200℃，建議*應用溫度≤1000℃；保溫材料采用真空吸塑一次成型的氧化鋁材料，保溫性能*，壽命長，放氣量少不影響極限真空的獲得；隔熱柱采用氮化硼陶瓷，可加工性能強，可與壓頭緊密配合使用，減少由于機械間隙造成的熱輻射；石墨壓頭與水冷壓頭之間采用氧化鋯陶瓷進行隔熱，為了減少陶瓷受熱不均勻炸裂增云母片隔熱層減少熱傳導造成的溫區(qū)溫度波動變化。*使用溫度900℃,控溫精度0.1℃，200℃以上溫度誤差±1℃，溫場恒溫區(qū)均勻性±2.5℃。
三、壓力機
壓力機由精密液壓站提供動力，液壓站由油箱、液位液溫計、空氣濾清器、2KW電機、齒輪泵、壓力表開關、壓力表、溢流閥、回油濾油器、直通單向閥、蓄能器、換向閥、油缸等部件組成。該配置有效行程70mm；可進行恒壓、穩(wěn)壓的功能操作  。
四、架臺
架臺采用40*40的碳鋼方管焊接而成，臺面采用5mm厚碳鋼板，適當增加承重橫梁，承載爐體及4根支柱的重量；正對面配合儀表安裝蒙板，其他面不作安排，外表面做噴塑處理，美觀大氣、整潔方便
五、結構件
壓頭采用不銹鋼棒料內部打孔焊接水道而成，保證溫度不過高的同時，保證強度達到使用要求，外觀美觀；波紋管采用焊接波紋管，壓縮量可達70%，降低設備整體高度，使用壽命可達10萬次， 降低使用維護費用；承重立柱采用4根直徑40mm的光軸，上下端挑扣成M30的外螺紋；承重板采用400*500*50mm的不銹鋼厚板配做打孔，保證強度同時注重美觀度
六、密封連接件
螺釘采用304不銹鋼螺釘；密封圈采用氟膠圈；卡箍1套；卡鉗1套；銅墊圈1套。
七、溫控系統(tǒng)
溫控系統(tǒng)由日本島電SR23溫控表通過4-20mA進行PID控制，實時調整輸入加熱器電壓電流，達到控溫目的；儀表箱配置電壓表、電流表，可直觀的記錄相關參數值；控溫精度可達到0.1℃
八、壓力控制系統(tǒng)
壓力控制系統(tǒng)由承重壓力傳感器、顯示器（開關量型）、繼電器、液壓站相應閥門構成一個控制閉路，實現壓力設定、讀取的直觀性和相應參數的方便記錄。
九、真空閥門管路
閥門由ISO100手動高真空檔板閥、真空針閥2個、浮子流量計及相應的管路接頭等、KF16-Φ6接頭2個、KF16放氣閥1個、KF25氣動擋板閥2個、KF25*1000mm波紋管2根.
十、真空獲得設備
真空獲得設備采用雙級真空，高真空采用成都南光擴散泵，極限真空度5*10-6Pa，前級真空泵采用中韓合資機械泵，抽速選擇6L/s，此配置，維護簡單，成本較低。
十一、真空測量設備
真空測量裝置采用成都睿寶復合真空計，兩個低真空測量電阻規(guī)，一個高真空測量電離規(guī)，全量程大氣壓到1*10-5Pa，性能穩(wěn)定，維護簡單，后期成本較低。
十二、電路總控