TMC 混合壓電陶瓷/氣浮主動(dòng)隔振系統(tǒng)

LaserTable-Base對(duì)現(xiàn)有光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)隔離技術(shù)進(jìn)行了ji大改shan。通常，光學(xué)平臺(tái)是由低頻氣動(dòng)隔振系統(tǒng)支撐。雖然對(duì)于高頻的隔離非常有xiao，但是實(shí)際上被動(dòng)系統(tǒng)在1-3H乙范圍內(nèi)會(huì)放大振動(dòng)。

TMC的STACIS技術(shù)通過將壓電陶瓷制動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器結(jié)合的zhuan利技術(shù)來消chu而不是放大低頻振動(dòng)，成功地克服了這些局限。LaserTable-Base綜合了氣浮和STACIS這兩種技術(shù)組成一個(gè)完整的振動(dòng)消chu系統(tǒng)。由于兩種隔離系統(tǒng)的串聯(lián)，使此技術(shù)的振動(dòng)隔離范圍從非常低的頻率到非常高的高頻。

LaserTable-Base頂部的氣浮部分是模塊化的、可替換的。它可以是TMC的Gimbal PistonTM氣浮隔振支腿，或者M(jìn)axDampB氣浮隔離支腿，甚至可以是剛性支腿，這取決于實(shí)際應(yīng)用的需求。

特點(diǎn)

• 采用STACIS專li技術(shù)

• 主動(dòng)式壓電陶瓷內(nèi)部振動(dòng)消chu系統(tǒng)從低于1Hz開始隔離振動(dòng)

• 擴(kuò)展行程的壓電致動(dòng)器，*高達(dá)60微米6個(gè)隔振自由度

• 為達(dá)到*大振動(dòng)消chu，串聯(lián)2個(gè)隔離系統(tǒng)采用MaxDamp空氣隔離zhuan利技術(shù)操作簡(jiǎn)單，性能穩(wěn)健，性價(jià)比高

• 桌子下有可用于放置設(shè)備的可選貨架包含TMC的DC-2020數(shù)字控制器

模擬VC-A (2,000 μin./s,50 μm/s)振動(dòng)測(cè)試，負(fù)載為2000磅(907 kg)

將低頻被動(dòng)MaxDampQ氣浮隔振系統(tǒng)與壓電陶瓷主動(dòng)隔振系統(tǒng)串聯(lián)，得到垂直和水平方向兩個(gè)單獨(dú)的隔振性能曲線。

由此產(chǎn)生的隔振性能對(duì)比明顯，以至于在某些頻率范圍內(nèi)，我們受到測(cè)量?jī)x器噪聲地板的限制，無法測(cè)量和演示完整的隔離性能。也就是說，在10-12 Hz以上，組合系統(tǒng)的實(shí)際性能有望超過理論隔振性能曲線，因?yàn)榻M合隔離理論上是兩個(gè)子系統(tǒng)提供的隔離能力的總和。

TMC 混合壓電陶瓷/氣浮主動(dòng)隔振系統(tǒng)

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