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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>納米壓印設備>AU-CNI 桌面型納米壓印機

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AU-CNI 桌面型納米壓印機

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上海昊量光電設備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領域的技術服務與產品經銷,致力于引進guo外*先進性與創新性的光電技術與可靠產品,為國內Z前沿的科研與工業領域提供優質的產品與服務,助力中國智造與中國創造! 目前,昊量光電已經與來自美國、歐洲、日本的多家光電產品制造商建立了緊密的合作關系。其代理品牌均處于相關領域的發展前沿,產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、精密光學元件等,所涉足的領域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究與國防等。

昊量光電堅持“專業源自專注,專注成就未來”的經營理念。近年來,我們專注于前沿的細分市場,為量子光學、生物顯微、物聯傳感、精密加工、先進激光制造等領域的客戶提供系統解決方案。

作為一家以技術溝通與技術服務見長的高科技企業,我們所有的銷售與技術服務團隊成員都具有理工科方面的專業背景,并在公司接受相關領域的專業培訓,在售前技術溝通、售后產品安裝培訓、產品問題解決、軟硬件增值服務等方面為客戶提供更加專業化的服務!我們專業高效的商務與物流部門憑借多年積累的貿易經驗與規范化的制度流程,保障每一筆訂貨準時安全到達目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創新、共贏的核心價值觀,昊量光電堅持以誠信為基石,憑借高效的運營機制和勇于創新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創造價值,實現各方共贏!

立足于光電產業,昊量光電始終堅持價值創造與創新,贏得客戶與合作伙伴的認可,不斷拓展業務領域的新邊疆,立志打造的代理服務品牌!

 

激光器調制器,激光測量加工設備,光學部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統掃描系統,探測器光子計數器,專用實驗設備,相機

產地類別 進口

桌面型納米壓印機

  • 產品圖片

超緊湊納米壓印機!

所屬類別:實驗設備 » 無掩模光刻系統

技術服務人員:李工(William)

超緊湊納米壓印機

 

光刻技術實際上是一種精密表面加工技術,它借助于一定波長的激光光源以及選擇性的化學腐蝕和刻蝕技術把設計的微納圖案轉移到硅基板上。但是隨著集成電路功能和密度的提升傳統的光刻技術已經難以滿足當前對線寬越來越小的需求。但是打破衍射極限的大型光刻設備又極其昂貴。為了擺脫光學衍射極限和克服高成本的限制,一種操作簡單,成本低廉的納米壓印技術產生了。納米壓印的技術核心是充分利用機械能將剛性模板上的圖案轉到抗蝕劑上,之后再借助溶脫、剝離、刻蝕等將圖案轉移到基板上。到目前為止壓印技術已經發展出來多種類型,典型的包括熱塑壓印技術、紫外固化壓印、微接觸納米壓印、激光輔助納米壓印和滾軸式納米壓印技術等。

 

上海昊量光電設備有限公司推出的納米壓印機AU-CUI為熱壓印和紫外固化壓印設備。

 

AU-CNI納米壓印機是一款桌面大小的納米壓印和熱壓成型的機器。它可以用于微米或納米結構的壓印成型。AU-CNI不但可以進行熱壓印還可以進行UV壓印。

對于熱壓印首先設備通過施加壓力使模板與基板緊密接觸,加壓范圍最大可達到11bar,通常依據溫度控制壓印過程。溫度最高可達到200℃,由于采用原位實時測量溫度,因此控溫精度可達到1℃。

 

UV曝光采用4個365nm的LED光源,組合光的功率可達到11.6W,LED的溫度被實時檢測,擁有過熱保護功能,即使出現過熱的現象也可以確保曝光劑量正確。

 

 

此外設備擁有簡潔的操作軟件。通過軟件可以控制壓印的溫度、壓力、曝光時間等參數。并且可以編輯并存儲在該軟件中。

AU-CUI其操作簡單,功能強大,易于實現新的實驗和非標準的加工。是納米壓印的*工具。

 

  1. 壓印圖案

 


 

 

桌面型納米壓印機產品特點

l   操作簡單

l   即插即用

l   結構緊湊

l   多種用途

主要應用

微米/納米結構的壓印

高縱橫比結構的壓印

聚合物的熱壓印

壓印模板制作

產品參數

 

Pressure

Imprint pressure from 0.3 - 11 bar overpressure

Temperature

Up to 200ºC with control of +/- 1ºC

UV exposure

UV led light with 365 nm wavelength and optical power of 11600 mW

Vacuum

The imprint chamber can be evacuated down to pressure below 1 mbar

Size of imprint chamber

Diameter of 100 mm and height of 20 mm (can be expanded up to 45   mm)

Automated replication process

1Stamp and   substrate are loaded manually

2Replication   process is fully automated and controlled through CNI software

Software

Full process control and flexibility. Everything besides loading   and unloading is handled by the software

CNI customization

CNI can be modified to meet individual requirements

On-line video instructions

On-line video installation and operation guides

Optional

1Pressure   booster to boost a lab compressed air supply from 3-5 bar to 6-10 bar

2Training   and/or installation by NILT personnel



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