真空升华仪的特点
-提高下一代OLED显示器有机原材料的纯度。
-高真空维持技术,实现高纯度有机材料的研发与量产。
-实际检测石英管内部温度后,进行偏差补偿
-安装液氮双阱,提高真空度,有效阻止泵回流
-气化低温氮气(-100度~-50度)的再利用实现液氮高效性,节省成本
-延长真空计使用寿命
-设计简化
1)紧凑设计,无真空死角。
2)零部件容易安装拆卸。
3)各设备部件内层,外层,都进行表面处理。
4)使用抛光不锈钢材料,外形美观且便于清洗。
-根据客户需求制定真空室的直径:
50,80, 100, 120, 150, 200, 250, 300, 400, 500(mm)
-拥有供应多台R&D设备(50mm~120mm )的业绩: 50台以上。
-拥有供应多台量产型设备(200mm~300mm )的业绩:50台以上。
-有多种真空泵的组合模式: Rotary Pump + Diffusion pump ; Dry Pump + Turbo Pump; Dry Pump + cryo Pump.
-保障在业界拥有较好水平的截面温度均一性。
-保障产品的高收益及高真空度。
- 开发了横向型,纵向型升华设备。