高真空升華機
-提高下一代OLED顯示器有機原材料的純度。
-高真空維持技術(shù),實現(xiàn)高純度有機材料的研發(fā)與量產(chǎn)。
-實際檢測石英管內(nèi)部溫度后,進行偏差補償
-安裝液氮雙阱,提高真空度,有效阻止泵回流
-氣化低溫氮氣(-100度~-50度)的再利用實現(xiàn)液氮高效性,節(jié)省成本
-延長真空計使用壽命
-設(shè)計簡化
1)緊湊設(shè)計,無真空死角。
2)零部件容易安裝拆卸。
3)各設(shè)備部件內(nèi)層,外層,都進行表面處理。
4)使用拋光不銹鋼材料,外形美觀且便于清洗。
-根據(jù)客戶需求制定真空室的直徑:
50,80, 100, 120, 150, 200, 250, 300, 400, 500(mm)
-擁有供應(yīng)多臺R&D設(shè)備(50mm~120mm )的業(yè)績: 50臺以上。
-擁有供應(yīng)多臺量產(chǎn)型設(shè)備(200mm~300mm )的業(yè)績:50臺以上。
-有多種真空泵的組合模式: Rotary Pump + Diffusion pump ; Dry Pump + Turbo Pump; Dry Pump + cryo Pump.
-保障在業(yè)界擁有較好水平的截面溫度均一性。
-保障產(chǎn)品的高收益及高真空度。
- 開發(fā)了橫向型,縱向型升華設(shè)備。
高真空升華機?