真空技術公司

量產級真空升華儀

-提高下一代OLED顯示器有機原材料的純度。

-高真空維持技術，實現高純度有機材料的研發與量產。

-實際檢測石英管內部溫度后，進行偏差補償

-安裝液氮雙阱，提高真空度，有效阻止泵回流

-氣化低溫氮氣（-100度～-50度）的再利用實現液氮高效性，節省成本

-延長真空計使用壽命

-設計簡化

 1)緊湊設計，無真空死角。

 2)零部件容易安裝拆卸。

 3)各設備部件內層，外層，都進行表面處理。

 4)使用拋光不銹鋼材料，外形美觀且便于清洗。

-根據客戶需求制定真空室的直徑:

   50，80, 100, 120, 150, 200, 250, 300, 400,  500(mm)

-擁有供應多臺R&D設備（50mm～120mm ）的業績： 50臺以上。

-擁有供應多臺量產型設備（200mm～300mm ）的業績：50臺以上。

-有多種真空泵的組合模式： Rotary Pump + Diffusion pump ; Dry Pump + Turbo Pump; Dry Pump + cryo Pump.

-保障在業界擁有較好水平的截面溫度均一性。

-保障產品的高收益及高真空度。

- 開發了橫向型，縱向型升華設備。

量產級真空升華儀

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