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LH1000雙頻激光干涉儀
聯系方式:鐳測
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雙頻激光干涉儀、激光回饋干涉儀、相位延遲測量儀、激光教學儀及激光納米測尺
產品的特點:
LH1000雙頻激光干涉儀專為光刻機配套開發的高精度測量系統;
通過國家重大專項“*規模集成電路制造技術及成套工藝”項目驗收。
LH1000雙頻激光干涉儀采用能直接輸出線偏振光的雙頻激光器;
低非線性高精密測量系統,測量更精準;
可提供1~20MHz頻差內任意頻差產品,滿足各種測量速度需要。
光源和測量信號接收單元分體式設計,方便搭建多軸測量系統;
精巧的測量信號光纖接收頭,即使空間狹小也能方便安裝;
標準光刻機干涉儀安裝尺寸和數據接口,可直接替換現有產品。
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