本系統(tǒng)主要由以下部分組成：

   三組分動態(tài)配氣系統(tǒng)

   計算機與操作軟件（也可以用LED觸摸屏，那就不需要配計算機和軟件部分）

系統(tǒng)各部分組成如下：

   三組份動態(tài)配氣系統(tǒng)

   該系統(tǒng)運用目前上*的測量和控制技術(shù)，設(shè)備穩(wěn)定可靠，配制精度高。全自動化控制，操作簡單可靠。設(shè)備集成在一個機箱內(nèi)。外觀簡潔，美觀。主要設(shè)備包括：質(zhì)量流量控制器，單向閥，截止閥，氣體混合管路等。由于可能存在甲烷，乙烷，乙烯，乙炔等易燃易爆危險性介質(zhì)。配氣系統(tǒng)設(shè)計氣路和電路控制部分分開安裝，同時在可能存在可燃性氣體泄漏的地方安裝風扇，通過風扇保證空氣流通，防止可燃氣聚集。保證系統(tǒng)和人員的安全。

   系統(tǒng)設(shè)計為三組份配氣方式，其中一路為氮氣，其他兩路為其他氣體（氫氣，氧氣），氣源采用鋼瓶氣。

   該系統(tǒng)配置3個荷蘭或者美國*質(zhì)量流量控制器，可實現(xiàn)2～3個組份氣體混合配比。

   系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫內(nèi)有多達四五十種氣體，使用時通過計算機直接調(diào)取選擇。 

   混合氣體大流量：≈ 3L/min。

   配氣通道：3路

主要技術(shù)參數(shù)

  1.氣體質(zhì)量流量控制器（荷蘭*或者美國DPC）

  Range1：0～2000ml/min

  Range2：0～500ml/min

  Range3：0～200ml/min

  2.精確度：±0.5%RD+0.1%FS

  3.密封：Viton(耐高溫氟素橡膠)

  4.響應時間：1…2seconds

  5.重復性：< ±0.2% Rd

  6.量程比：1:50（數(shù)字模式為：1:187.5）

  7.泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

  8.電源：＋15…24VDC@320mA

  9.使用溫度：-10…70 ℃

  10.壓力靈敏度：0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2

  11.溫度靈敏度：Zero：<0.05% Rd /℃; Span：<0.05%Rd/℃ 

  12.輸出：4…20mA and RS-232

  13.氣路：整個系統(tǒng)氣路均采用防腐防吸附的316L不銹鋼管或者聚四氟乙烯管,內(nèi)表面光滑

  計算機及系統(tǒng)軟件

  1)配氣系統(tǒng)通過觸摸屏或者計算機操作,計算機需要另選配氣軟件。

  2)三組分配氣軟件

  配氣系統(tǒng)根據(jù)要求，可以設(shè)置鋼瓶和對應的端口。并可以通過流量模式和濃度模式配氣。通過軟件自動計算，氣體質(zhì)量流量控制器自動調(diào)節(jié)控制氣體流量，以實現(xiàn)氣體配比濃度要求。