系統(tǒng)構(gòu)成

   本系統(tǒng)主要由以下部分組成：

   四組份動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)(標(biāo)配)

   計(jì)算機(jī)(或者觸摸屏)與操作軟件(標(biāo)配)

系統(tǒng)各部分組成如下：

   四組份動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)

   該系統(tǒng)運(yùn)用目前上*的測(cè)量和控制技術(shù)，設(shè)備穩(wěn)定可靠，配制精度高。全自動(dòng)化控制，操作簡單可靠。設(shè)備集成在一個(gè)機(jī)箱內(nèi)。外觀簡潔，美觀。主要設(shè)備包括：質(zhì)量流量控制器，單向閥，截止閥，氣體混合管路等。

   該系統(tǒng)配置4路質(zhì)量流量控制器，可實(shí)現(xiàn)2∽4個(gè)組份氣體混合配比。

   系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫內(nèi)有多達(dá)四五十種氣體，使用時(shí)通過計(jì)算機(jī)直接調(diào)取選擇。

   混合氣體大流量：≈ 2L/min。

   配氣通道：4路

主要技術(shù)參數(shù)

   氣體質(zhì)量流量控制器（美國*）

  Range1：0.0～1000ml/min                    

  Range2：0.0～500ml/min 

  Range3：0.0～500ml/min                  

  Range4：0.0～100ml/min

  大輸出流量≦2000ml/min

  精確度：± 1%FS

  響應(yīng)時(shí)間：1～2seconds

  重復(fù)性：< ±0.2% Rd

  量程比：1:50（數(shù)字模式為：1:187.5）

  泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

  電源：＋15～24VDC@320mA

  使用溫度：-10～70 ℃

  輸出：4～20mA and RS-232

  氣路

  整個(gè)系統(tǒng)氣路均采用防腐防吸附的316L不銹鋼管或者聚四氟乙烯管,內(nèi)表面光滑

  計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件

  1)配氣系統(tǒng)通過觸摸屏或者計(jì)算機(jī)操作,計(jì)算機(jī)需要另選配氣軟件。

  2)四組份配氣軟件

  配氣系統(tǒng)根據(jù)要求，可以設(shè)置鋼瓶和對(duì)應(yīng)的端口。并可以通過流量模式和濃度模式配氣。通過軟件自動(dòng)計(jì)算，氣體質(zhì)量流量控制器自動(dòng)調(diào)節(jié)控制氣體流量，以實(shí)現(xiàn)氣體配比濃度要求。