NX-2600 NX-2600多功能納米壓印
- 公司名稱 亞銘(北京)科技有限公司-C
- 品牌 其他品牌
- 型號 NX-2600
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2019/6/17 21:07:55
- 訪問次數 431
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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 醫療衛生,生物產業 |
NX-2600多功能納米壓印經過了大量的實時實地驗證,質量可靠,性能*穩定。具備全部壓印模式:熱固化、紫外固化和壓印。基于保護的Nanonex氣墊軟壓技術(ACP),不論模版或基板背面粗糙程度如何,或是模版或基板表面波浪和弧形結構,NX-2600均可對其校正補償從而獲得壓印均勻性, ACP消除了基板與模版之間側向偏移,有效地延長了模版使用壽命。通過微小熱容設計可獲得快速的熱壓印周期,終得到快速的工藝循環。
NX-2600多功能納米壓印
主要特點:
所有形式的納米壓印
熱塑化
紫外固化
熱壓與紫外壓印同時進行
熱固化
氣墊軟壓技術(ACP)
*的整片基板納米壓印均勻性
高通量
低于10nm分辨率
亞1微米正面對準精度
背面對準可選項
快速工藝循環時間(小于60秒)
靈活性
4″, 6″, or 8″壓印面積可選
各種尺寸及不規則形狀模板與基板均可壓印
方便用戶操作
基于超過12年、15代產品開發經驗的自動化壓印操作
Nanonex壓印系統經過大量實時實地驗證,質量可靠,性能*穩定
全自動納米壓印
系統參數:
熱塑壓印模塊
溫度范圍0~250℃
加熱速度>300℃/分鐘
制冷速度>150℃/分鐘
壓力范圍0 ~ 3.8MPa(500 psi)
紫外固化模塊(NX-2000)
200W窄帶紫外光源
365納米或395納米波長可選
全自動化控制
對準模塊
X, Y, Z, Theta平臺
分場光學和CCD相機
基板裝載
標配納米壓印系統可裝載4″基板
6″和8″基板可選
各種尺寸及不規則形狀模板及基板均可壓印
ACP技術可大限度保護基板和模板,特別對于象磷化銦(InP)等極易碎模板和基板給予大限度保護。
光刻
標配5”模板,標配4”直徑基板
其他尺寸可以提供
500瓦紫外水銀燈光源
其他參數:
配有微軟Windows的電腦控制系統
用戶友好的控制軟件
程序化控制壓印溫度、壓力和時間
真空和壓縮空氣操作由電腦控制
手動裝載/拆卸基板
自動化壓印操作
設備占地面積:31 × 87 英寸
(780 mm × 2210 mm)