NX-B100/B200多功能整片基板納米壓印系統經過了大量的實時實地驗證,質量可 靠,性能*穩定。具備全部壓印模式:熱固化、紫外固化和壓印。基于獨 特保護的Nanonex氣墊軟壓技術(ACP),不論模版或基板背面粗糙程 度如何,或是模版或基板表面波浪和弧形結構,NX-B100/B200均可對其校 正補償從而獲得的壓印均勻性, ACP消除了基板與模版之間側向偏 移,有效地延長了模版使用壽命。通過微小熱容設計可獲得快速的熱壓印周 期,zui終得到快速的工藝循環。

NX-B100/B200多功能整片基板納米壓印系統

主要特點：

所有形式的納米壓印

熱塑化

紫外固化 (NX-B200)

熱壓與紫外壓印同時進行(NX-B200)

熱固化 

氣墊軟壓技術(ACP)

Nanonex技術

*的整片基板納米壓印均勻性

高通量

低于10nm分辨率 

快速工藝循環時間(小于60秒) 

靈活性

大75毫米直徑壓印面積

各種尺寸及不規則形狀模板與基板均可壓印

方便用戶操作

基于超過12年、15代產品開發 經驗的自動化壓印操作

Nanonex壓印系統經過大量實時實地驗證,質量可靠,性能*穩定

全自動納米壓印