FR-Basic FR-Basic VIS/NIR紫外高分辨率膜厚儀
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)香港有限公司
- 品牌
- 型號(hào) FR-Basic
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2019/7/23 10:57:57
- 訪問(wèn)次數(shù) 660
產(chǎn)品標(biāo)簽
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勻膠機(jī)，等離子清洗機(jī)，光刻機(jī)，折射率匹配液，顯微鏡浸鏡油，液壓機(jī)，熱壓機(jī)，加熱臺(tái)，顯影機(jī)，濕法腐蝕機(jī)，
| 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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| FR-Basic VIS/NIR基礎(chǔ)型膜厚儀（紫外/近紅外-高分辨率）光譜范圍：350-1000nm ： Α)鹵鎢光源系統(tǒng)Tungsten Halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強(qiáng)度。 小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm)，分辨精度可達(dá)3648像素， 16位級(jí) A/D 分辨精度；配有USB通訊接口； 光學(xué)連接器SMA 905, 光譜儀功率：110VAC/230VAC – 60Hz/50Hz. 10mm厚度的氧化鋁面板，每英寸（25mm）間距，配有M6 (or ¼”) 口徑鉆孔，用以安裝光學(xué)部件。 樣品放置臺(tái)，配有多點(diǎn)Z軸聚焦和X-Y軸移動(dòng)調(diào)節(jié)。反射探針夾具調(diào)節(jié)范圍 (200mm – 200mm – 60mm)，可在測(cè)試區(qū)域內(nèi)精準(zhǔn)調(diào)節(jié)。 Β) FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng)， 可精確計(jì)算如下參數(shù)： 1）單一或堆積膜層的厚度； 2）靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類(lèi)型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù)，可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率，透射率和反射率的測(cè)量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用*，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用。 C) 參考樣片： a) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片； b) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片； c) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片； D) 反射光學(xué)探針 系統(tǒng)內(nèi)嵌6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm； |
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