SONIX™公司是世界500強丹納赫集團(NYSE: DHR)下的全資子公司，是超聲波掃描檢測儀和無損檢測設備的制造商。 自1986年成立以來，SONIX™在無損檢測領域中不斷改革創新，是*家基于微機平臺，提供全數字化成像方案的公司。 SONIX？ 設備被廣泛應用于各種材料的無損檢測，包括半導體，汽車零件和其他良好元件。 擁有獨立開發的軟件，硬件和**技術，這么多年來通過和客戶的不斷合作，實現了SAM技術的持續改進。

AutoWafer Pro™: Ultrasonic Equipment for NDT of Bonded Wafers

SONIX AutoWafer Pro™ 是專為全自動晶圓檢測設計的機型，主要應用在Bond wafer，MEMS 內部空洞、離層檢測，TSV量測方面。
● 使用于200和300mm晶圓
● 符合一級凈化間標準● Cassette裝載，全自動檢測，支持FOUP或FOSB機械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協議
● KLARF輸出文件