UNIPOL-1203化學機械磨拋機
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 沈陽科晶自動化設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地 沈陽
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/5/8 17:35:45
- 訪問次數 4299
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 地礦,冶金,航天 |
UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。 1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。
2、超精旋轉軸(托盤端跳小于0.01mm)。
3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。
4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。
5、配置自動滴料器,流量速率可視化調整,自動研磨和拋光。
6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調節壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。
產品名稱 | UNIPOL-1203化學機械磨拋機 | |
產品型號 | UNIPOL-1203 | |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及排水 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:無 4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風裝置:不需要 | |
主要參數 | 主機部分 | |
1、電源:220V 2、功率:450W 3、磨拋盤轉速:10-240rpm 4、磨拋工位:2個 5、擺臂調節檔位:1-15檔 6、托盤端跳:0.008/250mm 7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm 8、載樣盤:φ105mm 9、修盤環:φ127.5mm | ||
GPC-100A精密磨拋控制儀 | ||
1、載樣盤直徑:Ø103mm 2、載樣盤軸向行程:12mm 3、數顯表精度:0.001mm 4、載樣盤可調加載壓力: 0.1kg-2.1kg 5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g 6、樣品裝卡方式:真空吸附 7、承載樣件尺寸:直徑≤103mm、 厚度≤12mm 8、尺寸:外徑146mm,高266mm | ||
自動滴料器 | ||
SKZD-2滾筒滴料器 1、容積:1.5L 2、流量:0-35ml/min 3、尺寸:170×290×350mm; 重量:3kg SKZD-4自動滴料器 1、加液泵:4個 2、料液瓶:600ml/瓶 3、計時范圍:1-999min 4、流量:0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸:230×370×450mm; 重量:10kg | ||
產品規格 | 1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm | |
序號 | 名稱 | 數量 | 圖片鏈接 |
1 | 鑄鐵磨盤(Ф300mm花盤) | 1個 | |
2 | 不銹鋼磨盤(Ф300mm平盤) | 1個 | |
3 | 載物盤 | 1個 | |
4 | 修盤環 | 1個 | |
5 | 拋光墊 (磨砂革、合成革、聚氨酯) | 各1片 | |
6 | 磁力片(帶背膠) | 2片 | |
7 | 研拋底片 | 2片 | |
8 | 剛玉研磨微粉 | 0.5kg | |
9 | 石蠟棒 | 4根 | |
10 | 二氧化硅懸浮拋光液 2040 W0.05 | 1瓶 |
序號 | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
1 | YJXZ-12攪拌循環泵 | (可選) | |
2 | 精密測厚儀 | (可選) | |
3 | 陶瓷研磨盤 | (可選) | |
4 | 玻璃研磨盤 | (可選) | |
5 | 磁性樹脂金剛石研磨片 | (可選) |