AL120-12 奧林巴斯晶圓搬送檢查顯微鏡
參考價 | ¥1400000.00 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 蘇州科冠電子科技有限公司
- 品牌OLYMPUS/奧林巴斯
- 型號AL120-12
- 所在地蘇州市
- 廠商性質代理商
- 更新時間2020/3/5 15:50:25
- 訪問次數 504
產品標簽
規格
AL120-12 | 1400000.00元 | 99 臺可售 |
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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子 |
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奧林巴斯晶圓搬送檢查顯微鏡AL120-12人機工程學設計,操作方便:
可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設備的操作簡便性。
分別對應FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。
AL120-12對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。
人機工程學設計,操作方便
•可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設備的操作簡便性。
•分別對應FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。 堅固、可靠和安全傳送
•延續了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
•薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
•宏觀觀察位置的*化和操作單元的集中排列,提高了設備的操作舒適性。
奧林巴斯晶圓搬送檢查顯微鏡AL120-12宏觀照明裝置
宏觀照明裝置 | 為異物、傷痕、膜斑、散焦的發現提供了理想的照明方式 高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合,實現了300 mm晶圓的冷光源全面照射。 |
自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12 規格 | ||
AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F | |
晶圓尺寸 | 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm | |
卡盒 | ●FOUP(Front Opening Unified Pods)前開門標準夾 ●SEMI:E47.1-0200規格產品 ●FIMS-FOSB, FOSB | ●FOSB(Front Opening Shipping Box)前開門搬運盒 ●SEMI:M31-0999規格產品 |
卡盒數 | 單盒(裝載、卸載兼用) | |
卡盒設置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無 |
搬運順序 | 表面宏、內面宏、顯微鏡檢查 | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準 | 非接觸式中心環 | |
晶圓搬運方式 | 真空吸附機械搬運 | |
適用顯微鏡 | 半導體檢查顯微鏡MX61L | |
應用環境 | AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 真空-67~-80 Kpa 壓縮空氣0.5MPa~0.6MPa | AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 真空-67~-80 Kpa |
載物臺 | XY手動吸附載物臺,有XY粗調/微調和360度旋轉機構 | |
重量(不包括顯微鏡) | 約360 kg | 約270 kg |