| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,生物產業 |
光譜橢偏儀廣泛用于薄膜分析和測量。
holmarc Variable Angle Spectroscopic Ellipsometer光譜橢圓儀結合了旋轉分析儀橢偏儀技術來表征薄膜樣品。它使用高速CCD陣列檢測來收集整個光譜。它可以測量從納米厚度到數十微米的薄膜，以及從透明到吸收材料的光學特性。它可以精確地測量光學常數，例如折射率，薄膜厚度和消光系數。
| 光譜范圍：450-800nm |
| 探測器：線陣CCD攝像機 |
| 分辨率：2nm |
| 光源：鹵素燈 |
| 入射角：50-75度（分辨率：0.1度，自動操作） |
| 厚度測量范圍：0.1nm-10micron |
| 膜厚分辨率：0.01nm |
| 測得的RI分辨率：0.001 |
| 樣品對準：半自動（光學檢測），手動10mm高度調節和傾斜 |
| 樣品臺特點：X-Y平移超過150 x 150mm（可選） |
| 可測量的薄膜參數：折射率，消光系數，吸收系數和薄膜厚度 |
| 軟件功能： |
| 采集和分析不同波長和角度下的PSI，增量和反射率 |
| 用戶可擴展材料庫 |
| 數據可以另存為Excel或文本文件 |
| *的數學擬合算法 |
| 提取厚度和光學常數 |
| 參數化模型 |
| 多層厚度測量 |
橢偏原理
橢偏法是用于薄膜分析的高度靈敏的技術。該原理依賴于從表面反射時光的偏振態的變化。
表征極化狀態，對應于電磁波電場的方向；選擇兩個方向作為參考，p方向（平行）和s方向（垂直）。反射光具有在p方向和s方向上不同的相位變化。橢偏法測量這種極化狀態；
p = rp / rs = tan Ψe iΔ
其中Ψ和Δ是振幅比和p的相移和S組分。由于橢圓偏振法正在測量兩個值的比率，因此它非常準確且可重現。
特征
無損非接觸技術
單層和多層樣品的分析
精確測量超薄膜
測量，建模和自動操作軟件
對（Ψ，Δ）的統一測量靈敏度
此款產品不用于醫療，不用于臨床使用，此產品僅用于科研使用。
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