ES612 ESD 測試儀 (HBM, HMM, MM)

ES612 ESD測試儀是一款2管腳測試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統級ESD測試而設計。該測試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關ESD標準。測試儀上的DC特性測試端口，可搭配數字源表等DC測試設備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測試儀可搭配多管腳自動化測試儀進行應用擴展，也可用作器件質檢規范流程的一步。

ES612 ESD測試儀的脈沖源設計和注入方法能夠確保被測器件端的波形表現。該設備內置的電流探頭自動抓取脈沖注入時的波形，為數據分析提供可靠依據。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進行抓取。由于該設備還可擴展進行ESD波形注入前后的DC特性檢測，因此可進行ESD事件的損傷判定。

特點

• 低寄生參數，高質量脈沖

• 可定制，可擴展

• 可搭配探針臺進行晶圓級測試

• 外置可選配的自動故障檢測模塊

• 觸摸控制面板

• 可固件升級

• 可選配的自動化脈沖注入和故障測量軟件

• 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
   

ES612 ESD測試儀是一款2管腳測試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統級ESD測試而設計。該測試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關ESD標準。測試儀上的DC特性測試端口，可搭配數字源表等DC測試設備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測試儀可搭配多管腳自動化測試儀進行應用擴展，也可用作器件質檢規范流程的一步。

ES612 ESD測試儀的脈沖源設計和注入方法能夠確保被測器件端的波形表現。該設備內置的電流探頭自動抓取脈沖注入時的波形，為數據分析提供可靠依據。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進行抓取。由于該設備還可擴展進行ESD波形注入前后的DC特性檢測，因此可進行ESD事件的損傷判定。
 

• 低寄生參數，具有高質量脈沖
• 可定制，可擴展
• 可搭配探針臺進行晶圓級測試
• 外置可選配的自動故障檢測模塊
• 觸摸控制面板
• 可固件升級
• 可選配的自動化脈沖注入和故障測量軟件
• 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
   
• 用于晶圓、封裝、PCB和系統級器件的通用ESD測試
• HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
• HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2009
• MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2012
   

• ES612 控制主機

  參數	ES612-2K	ES612-8K	ES612-12K	ES612-20K	單位
  輸出電壓	± 10 ~ 2000	± 10 ~ 8000	± 10 ~ 12000	± 10 ~ 20000	V
  小輸出電壓步長	1V (500V以內)   10V (2 kV以內)	1V (500V以內)   10V (8 kV以內)	1V (500V以內)   10V (12 kV以內)	1V (500V以內)   10V (20 kV以內)	V,   kV
  輸出電壓精度	± 1 % 或 ± 5 V				%
  尺寸	347 X 300 X 145				mm
  重量	5	6	6	7	kg
  電壓、電流測量	電壓、電流測量無源探頭
  支持的示波器	Keysight， Tektronix，Lecory主流型號示波器
  支持的SMU	Keithley 24xx/26xx 系列

  外置人體模型（HBM ）波形發生模塊

  參數	HBM-2K	HBM -8K	HBM -12K	HBM -20K	單位
  輸出電壓	± 10 ~ 2000	± 10 ~ 8000	± 10 ~ 12000	± 10 ~ 20000	V
  放電RC值	C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1%
  短路峰值電流Ips	0.67A ± 10 % per kV				ns
  短負荷上升時間Trs	2 < Trs < 10				ns
  短負荷衰減時間Tds	1300 < Tds < 1700				ns
  短負荷振鈴Irs	< 15% of Ips
  500Ω負載峰值電流Ipr	Ipr/Ips ≥ 63%
  500Ω負載上升時間Trr	5 < Trr < 25				ns

  外置人體-金屬模型（HMM ）波形發生模塊

  (根據ANSI/ESD SP5.6-2009)

  參數	HMM-24K	單位	備注
  HMM峰值電流	90	A	3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 %   IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)
  HMM電流@ 30 ns	48	A	≤ ± 10 % (優于IEC標準的 ±30%  )
  HMM電流@ 60 ns	24	A	≤ ± 10 % (優于IEC標準的 ±30%  )

  編號	型號	描述
  ES612 ESD測試儀
  1.1	ES612	ES612 ESD 測試儀控制主機, 大輸出電壓 8 kV / 20 kV,   RS232 SCPI 通訊端口
  1.2	ES612-HBM	人體模型波形發生模塊（2管腳）
  1.3	ES612-HMM	人體-金屬模型波形發生模塊（2管腳）
  1.4	ES612-MM	機器模型波形發生模塊（2管腳）
  其他配件選項
  2.1	ES62x-PC-HBM	電腦（預裝脈沖及失效等級自動檢測軟件）
  2.2	KSMU2400	數字源表, 200V, 1A, 20W, 單通道(用于被測器件DC損傷檢測）
  2.3	ES62X-CMPS	簡易手動探針臺
  2.4	ES62X-XYZM-TIM	XYZ 微動探針座 – XYZ 行程500 mils，步進0.01mm
  2.5	ES62X-XYZM-PAA	PCB 探針臂套件，配備電壓測量探頭
  2.6	ES62X-XYZM-GAA	接地探針臂套件
  2.7	HBM-TC0.3	0.3 mm Pitch Test Clip
  2.8	HBM-TC2.5	2.54 mm Pitch Test Clip
  2.9	ES62X-XYZM-PP048	048 型號彈簧探針
  2.10	ES62X-XYZM-PP075	075 型號彈簧探針
  2.11	ES62X-XYZM-TN1	鎢鋼針