晶圓薄膜應力測試儀
- 公司名稱 武漢賽斯特精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2021/6/22 15:34:34
- 訪問次數 651
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工 |
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晶圓薄膜應力測試儀
主要特點:
l 快速、非接觸式測量;
l 樣品臺可通用于3至8寸晶圓,128L型號適用于12寸晶圓,128G 型號適用于470 X 370mm樣品,另可按要求訂做;
l 利雙激光自動轉換技術:如某一波長激光在樣本反射度不足,系統會自動使用另一波長激光進行掃瞄,滿足不同材料的應用;
l 全自動平臺,可以進行2D及3D掃瞄(可選);
l 可加入更多功能滿足研發的需求:電介質厚度測量,光致發光激振光譜分析(III-V族的缺陷研究);
l 500 及 900°C高溫型號可選;
l 樣品上有圖案亦適用;
l 薄膜應力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa。
晶圓薄膜應力測試儀
室溫系統 | FSM 128 | 大樣品直徑200mm |
FSM 128L | 大樣品直徑300mm | |
FSM 128G | 大樣品550×650mm | |
變溫系 | FSM 500TC | 電阻加熱工作臺:溫度可控,高500℃ |
FSM 900TC-vac | RTP型腔室:溫度可控,高900℃(可選1100℃);真空達到 1E-6 Torr |
武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業研發,以力學試驗機儀器為主,同時銷售各種、中低端分析儀器?,F有員工60多人,公司成功開發了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件,并采用全數字化,操作簡捷,*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標準、國家標準、行業標準的要求,公司亦通過了ISO9001質量體系認證和國家計量體系認證,榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。