控制方式

按鍵操作控制

Windows CE  7”觸摸屏操作控制

操作方式

手動

手動/自動

程序存儲

—

50組

工藝過程監控

—

二維折線圖與數字實時顯示

程序偏離值

—

抽真空時間、進氣量偏差值，實際功率輸出

報錯功能

—

顯示詳細的報錯信息

數據導入導出

—

USB

選程控制

—

選配

工藝氣路

單路，雙路，三路

工藝氣體

O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1

流量計

針閥流量計（可選防腐針閥流量計）*1

MFC流量計（可選防腐MFC流量計）*1

沖洗氣路

一路

泄氣氣路

一路

真空計

指針式/0-10mbar

數字式/0-9.99mbar

計時器

0~999.9H

真空腔體

不銹鋼圓形腔體

蓋子門帶觀察窗

尺寸Φ190mm x H60mm

容積1.7L

電極

不銹鋼氣浴RIE電極， Φ160mm

發生器

40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W

外形尺寸（WxDxH）

560 x 600 x 860mm

電源

AC230 V / 16 A

真空泵

排氣速度不小于4m3/H, 極限真空度小于10Pa

選配功能

托盤冷卻,腔體溫度監控,冷水綱