| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 醫療衛生,環保,化工,生物產業 |
氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。
l 產品特點
l 經濟適用
l 超低功耗
l 高集成度緊湊型設計
l 多種氣體校準
l RJ45（網口）通用接口
l 數字控制和模擬控制雙模式
l 標準RS485 Modbus RTU通信協議
l 模擬輸入1-5V/模擬輸出1-5V
l 采用進口高精度傳感器
l 采用進口比例閥控制
l 模糊PID算法，可更改PID控制參數
l 內置環境氣壓傳感器
l 內置環境溫度傳感器
l 高重復性
l 低溫度漂移
l 控制參數自整定功能
l 具有自動調零功能
l 電路防浪涌設計
l 具有故障報警功能
l 技術特點
l 微處理器控制
MFC內部采用可編程未處理器控制，使用PID控制，可實現不同工況條件下進行高速精確的流量控制。
l RS-485總線接口
MFC內置RS-485總線接口，可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式。可通過RS-485總線組網，實現多臺MFC同時控制。
l 便捷標定方法
可通過專用標定軟件對MFC進行標定，只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進行標定。
l 緊湊的外形尺寸
MFC尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時，不但能夠減小系統體積和重量，同時能夠集成更多的功能模塊。
l 多氣體多量程選擇
MFC可選擇多種氣體種類（H2、N2、Air、He等），用戶可根據用戶手冊及使用需求進行操作選擇。同時，本公司提供不同量程MFC產品，用戶可根據需求進行選。
l 應用范圍
l 氣象色譜儀
l 環保監測設備
l 制氣配氣
l CVD材料制備裝置
l 半導體/光伏設備
l 生物發酵/醫療儀器
l 其他實驗室分析儀器
l 技術參數
| 項目 | 參數信息 |
| 最大量程 | 50sccm~20slpm(可定制) |
| 精度 | ±1%F.S. |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 重復精度 | ±0.2%F.S. |
| 氣體類型 | H2/He/N2/Air/Ar（可定制）） |
| 響應時間 | 1s |
| 壓差范圍 | <1MPa |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 工作濕度 | 0~95%R.H.（非冷凝） |
| 工作電壓 | 24V±10%/12V±10% |
| 信號接口 | RS-485（Modbus），模擬電壓信號 |
| 氣路材質 | 不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層 |
| 氣路接口 | 1/16 |
| 尺寸 | 50×24×55mm |
l 外形尺寸
單位：毫米（mm）
l 接口定義
l 產品選型
感謝您購買使用吉思特GT180質量流量控制器(MFC)。
本手冊描述了GT180質量流量控制器功能、性能以及使用產品達到最佳使用效果的應用方法。
請在使用該產品時注意以下事項：
l 在使用該產品前應通讀并理解本手冊以確保正確的使用。
l 使用該產品人員應具有基本的電氣系統知識。
l 請妥善保管本手冊以確保在需要時可以隨時查閱。
注意事項
l 通電期間，請勿觸碰端子。
l 不得讓金屬物體、導線、液體等進入控制器，否則引起設備短路、觸電或火災等危險事件。
l 請勿將本產品置于易燃易爆等場合。
l 絕對不要拆卸、改裝以及修理該產品或解除任何內部元件。
l 請設定適合系統控制使用的產品參數。如果設定不當，可能會因意外操作而造成財產損失或事故。
l 請在規定的時間內對該設備進行標定，以確保設備的準確性。
l 設備通電前，請確認接線是否正確，供電電壓是否符合使用手冊要求。
l 使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時，須在氣路中加裝過濾器等。
l 使用前，請確認使用氣體是否與標定氣體相符，以免導致流量數據錯誤。
l 請勿使用腐蝕性氣體，以免MFC氣路損壞。
保修與服務
l 本公司生產的MFC產品在出貨1年以內，如果用戶按照使用手冊正常使用，且產品沒有遭受物理損害、污染、改裝或翻新，若有問題，免費維修。
l 免費維修范圍，不包含氣路接頭及氣路接頭密封圈。
l 請收到產品后及時對產品進行驗收，出現問題請及時反饋銷售人員。
l 保修期內，產品必須由本公司或授權的服務中心修理。
l 用戶使用過有毒、有污染或腐蝕性氣體的產品，本公司將不負責修理或保修。
l 輸入的氣體壓力必須符合產品的耐壓標準, 不能超過該產品要求的最大壓力。
l 產品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產品會使保修無效，由于不正確的使用所導致的損害不能歸咎于本公司。
l 禁止自行拆開MFC。如果自行拆卸造成損壞，則本公司承諾的保修無效。
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