FPSEM-STE3526 混合異質結構分子束外延系統MBE
參考價 | ¥1200000-¥1550000/件 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌孚光精儀
- 型號FPSEM-STE3526
- 所在地上海市
- 廠商性質經銷商
- 更新時間2024/12/16 9:22:45
- 訪問次數 504
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生長室溫度 | 1200 |
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這款混合異質結構分子束外延系統具有雙反應器,非常適合А3В5和А2В6異質結構生長應用,也可用于epi晶圓研發和試生產。
混合異質結構分子束外延系統是提供從А3В5-反應器到А2В6-反應器的超純超高壓基板傳輸,避免生長界面的不受控制的污染。
還可以配備V族和VI族元素的閥裂解單元以及所有必要的原位分析工具。
混合異質結構分子束外延系統優勢:
•“實驗室到工廠”的概念,允許開展從基礎研究到異質結構試生產的活動
•鋁(冷唇)專用滲出細胞,操作穩定,鎵(熱唇)提供低橢圓形缺陷密度
•在系統基本配置中對生長過程進行現場監測的所有必要工具
•特別設計的生長操縱器,提供高溫均勻性和加熱/冷卻速率動態
•安裝期間的有效技術支持,包括基本工藝轉移
•簡單的系統操作和定期的技術維護
混合異質結構分子束外延系統參數:
烘烤后生長室的最終真空度,Torr | <5×10-11 |
最大基板直徑,mm | 100或3×2″block |
100mm晶圓的厚度和復合不均勻度,% | ±1 |
“源到基片”距離,mm | 135÷210 |
滲出細胞百葉窗設計 | 基于磁耦合旋轉運動的無沖擊驅動旋轉機構 |
百葉窗葉片材料 | 鉭、鉬或PBN(可選) |
生長機械手加熱元件的設計 | PBN/PG/PBN |
生長操縱器的最高工藝溫度,不低于,℃ | 900 (NH3-MBE為1200) |
準備室中基板脫氣溫度,不低于,℃ | 650 (III氮化物為1100) |
生長室烘烤溫度,不低于,℃ | 200 |
離子泵容量,不小于,l/s: –生長室(III-N的TMP) –準備室 –負載鎖定 | 800 (2000) 500 300 |