應用領域 | 環保,能源,電子,航天,電氣 | 1 | 2 |
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EUV等離子體光譜儀是專業為光譜范圍高達40nm的EUV等離子體特性測量而開發的VUV光譜儀,非常適合用作真空紫外焦光入射光譜儀單色儀。
EUV等離子體光譜儀特點
-單色儀和光譜儀模式
-恒定偏轉角
-光柵精密旋轉的波長掃描
千分尺驅動進出口狹縫組件;
EUV等離子體光譜儀規格
入射角:φ=85°
衍射角:φ=81°
恒定偏差角:φ=φ±ψ=166°
光譜范圍:4–42.5nm
可更換衍射光柵:1200、600、300 G/mm
光譜儀長度:250mm
20μm入口狹縫的光譜范圍、色散和光譜分辨率(默認):
光柵,G/mm 光譜范圍,nm 色散,nm/mm 分辨率,nm
1200 4.4-10.6 0.73-0.91 0.04
600 8.9-21.2 1.46-1.82 0.08
300 17.7-42.5 2.92-3.64 0.16
EUV等離子體光譜儀是專業為光譜范圍高達40nm的EUV等離子體特性測量而開發的VUV光譜儀,非常適合用作真空紫外焦光入射光譜儀單色儀。
EUV等離子體光譜儀特點
-單色儀和光譜儀模式
-恒定偏轉角
-光柵精密旋轉的波長掃描
千分尺驅動進出口狹縫組件;
EUV等離子體光譜儀規格
入射角:φ=85°
衍射角:φ=81°
恒定偏差角:φ=φ±ψ=166°
光譜范圍:4–42.5nm
可更換衍射光柵:1200、600、300 G/mm
光譜儀長度:250mm
20μm入口狹縫的光譜范圍、色散和光譜分辨率(默認):
光柵,G/mm 光譜范圍,nm 色散,nm/mm 分辨率,nm
1200 4.4-10.6 0.73-0.91 0.04
600 8.9-21.2 1.46-1.82 0.08
300 17.7-42.5 2.92-3.64 0.16