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TMC STACIS®III主動隔振系統 森泉光電

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森泉是專業從事光電相關領域儀器設備代理與系統集成業務的綜合性服務商,公司總部設在青島,在北京和上海有分公司。光機事業部業務范圍涵蓋國內各著ming高校、科研院所及眾多知ming企業,深受廣大用戶歡迎。

森泉光電有限公司代理和經銷的產品種類十分豐富,涉及到激光、光學、光電子、光通訊、微機電、自動化、物理、化學、電子、生物、農業等等領域,可為科研及企業用戶提供光學實驗及檢測的全套解決方案,并提供全面的售前、售中、售后支持與服務。

 

 

美國Crystalaser激光器,TMC光學平臺,Exciton激光染料,美國ISOWAVE,美國NEWSCALE等

產地類別 進口 應用領域 醫療衛生,環保,生物產業,能源,電子

TMC STACIS®III主動隔振系統 森泉光電

STACIS®III是先jin的主動振動隔離系統。采用慣性振動傳感器、復雜的控制算法和壓電致動器,STACIS通過連續測量地板活動,擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時振動隔離。

起初被設計用于半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設備振動隔離, STACIS現在是嘈雜環境中敏感儀器的行業標準解決方案,它廣泛應用于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米加工設備和材料研究。

Stacis III包括一個新型改進的數字控制器—DC-2020。它搭載 zui 新 gao 效 的雙核處理器,前后面板上都配備以太網和USB串口,新型控制系統為用戶提供了一個現代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。

Stacis III在世界各地有數百個成功安裝案例,對于大部分振動敏感儀器來說都是 zui 理想 的振動消除系統。


Stacis®III優勢

STACIS相比于氣浮支腿更加堅固可靠,且不存在氣浮隔振系統離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐,并且與主動的氣浮系統不同,STACIS可以放置在具有內部主動空氣隔離系統的設備下面,且兩個隔振系統相互兼容。

設計有 du 特 的通信串口和專有high-force壓電技術導致其具有大的主動帶寬0.6赫茲到150赫茲,以及從2Hz開始主動振動消除性能可達到90%。


特點&優點

  • 從0.6Hz開始隔離振動,1Hz時可隔振40%到70%

  • 2Hz時在高度、水平和垂直三個方向上提供超過90%的振動隔離

  • 減少工廠地板鋪設成本,使設備能夠安裝在較強振動環境中

  • 主動帶寬:0.6Hz到150Hz

  • 設備制造商竭力推薦

  • 六自由度活動硬性底座設計,無氣浮支撐

  • 魯棒控制系統,不需要預先調適

  • 可與設備內置隔振系統兼容

  • 當環境振動水平隨時間增加時,確保設備滿足自身的振動標準

  • 利用TMC Stacis®技術通過壓電陶瓷致動器來消除振動

  • 帶有基于計算機的圖形用戶界面(GUI)的數字控制器

  • 在舊的、有噪音的地板上也可以安裝使用

  • 兼容各種地板的高度和類型

  • TMC關注Stacis III隔振性能,提供全面的售后服務


TMC STACIS®III主動隔振系統 森泉光電

性能特性                                                                       DC-2020 控制器特點

 


隔離器尺寸、環境和設備使用要求



應用注釋

如下圖所示的45納米線寬測試模型圖是Amphibian Systems公司生產,安裝在德克薩斯州奧si汀SEMATECH的浸沒式光刻系統測試模型。



設備一開始被安裝在由鋼制支撐結構支撐的鋼鐵混凝土基座(商用彈性體隔振墊)上,但是這臺基座沒有達到設備指ding的振動標準,模型圖品質較差。

把底座的支撐結構移走,用主動壓電振動消chu系統STACIS來進行改裝。將STACIS直接安裝在已有的底座下面。用STACIS來支撐設備顯著減少整體振動水平,以達到生產商的地面振動標準。更重要的是,STACIS顯著地改shan了模型品質。








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激光控制:激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設備與系統等等

探測器:光電探測器、單光子計數器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統等等

定位與加工:納米定位系統、微納運動系統、多維位移臺、旋轉臺、微型操作器等等

光源:半導體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機械件:用于光路系統搭建的 gao 品 zhi 無應力光機械件,如光學調整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

光學平臺:主動隔振平臺、氣浮隔振臺、實驗桌、剛性工作臺、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學y件:各類晶體、光纖、偏轉鏡、反射鏡、tou射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

染料:激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發光染料、吸收染料等等



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