價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 飛行時間 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,綜合 |
優(yōu)勢
ULVAC-PHI 最新設(shè)計的四極桿-二次離子質(zhì)譜儀ADPT1010,在原有的PHI6300和PHI6600的基礎(chǔ)上,改善了離子光學(xué)系統(tǒng),是在一次離子能量低至250eV時,仍保持有效的濺射束流的動態(tài)二次離子質(zhì)譜系統(tǒng)(D-SIMS)。
特點(diǎn)
大束流低能量離子槍設(shè)計,極大的提高了深度分辨率
高性能離子光學(xué)系統(tǒng),改善了二次離子傳輸效率,在提高分析效率的同時又提高了檢測靈敏度
高精度全自動5軸樣品操控臺
不同方向進(jìn)入檢測器的二次離子,均可被高靈敏地收集檢測
應(yīng)用實(shí)例分析
采用一次離子源Cs在加速5kV束流為100nA的條件下,分析GaAs中注入的H,C,O元素??梢钥吹紿檢測限值7.1X1016 atm/cm3,O檢測限值4.4X1015 atm/cm3,C檢測限值2.0X1015 atm/cm3。