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5911D4 科氏液體質量流量控制器

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GRYLLS(音譯:格里爾斯)團隊始建于2004年,是一專業從事精確科學流體測控設備設計、制造、和方案解決供應商

當人類觀察這個世界時,會發現自己生活在一個充滿各種流體的世界。人們的生活被流體籠罩,人類自身也離不開流體。鷹擊長空、魚翔淺底;許許多多的現象都與流體有關。生活中的很多事物都在經意或不經意間巧妙地掌握和運用了流體力學的原理。人類為了更好的掌握流體的運動過程,需要對其進行精確科學的觀測。而測量、控制這些氣體與液體對于當今社會與工業的發展*,也可以說是人類永恒的課題;以此為使命、我們立了GRYLLS。

GRYLLS創立以來,始終以“Accurate scientific fluid、精確的科學流體”為企業理念,潛心鉆研微小流量領域的測量與控制。經過18年的刻苦鉆研、經驗積累、反復打磨,不斷的更新換代升級優化,從當初的胚胎狀態優化到工業產品的精益求精,GRYLLS一直與行業同行,在工程部和研發部,多位骨干技術人員孜孜不倦的配合努力下,GRYLLS先后研發出具有高耐壓屬性5900系列熱式原理、快速反應6600系列差壓原理、在介質壓力、密度、粘度、電導率和溫度變化的情況下仍具有超高精度8100系列科里奧利原理的質量流量計及質量流量控制器。GRYLLS產品流量、壓力、溫度適用范圍寬廣,可選擇性強。目前已經廣泛應用于工業氣體、石油、化工、醫療、電子及微電子、半導體、太陽能光伏、生物醫藥、標準檢測、燃料電池、食品飲料、體外診斷、工業生產等等方面。













質量流量計,質量流量控制器,氣體質量流量計,氣體質量流量控制器

應用領域 環保,化工,能源,電子

科氏液體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

科氏液體質量流量控制器5911D4主要技術指標

  1

  量程范圍

  (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

  (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

  2

  準確度

  ±1%F.S ±0.5%F.S

  3

  線性

  ±0.5~1.5%F.S

  4

  重復精度

  ±0.2%F.S

  5

  響應時間

  電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec

  6

  工作壓差

  0.1~0.5MPa

  7

  耐壓

  3MPa

  8

  工作環境溫度

  0~70℃

  9

  數字量

  RS485 MODBUS協議

  10

  模擬量

  DC 0~5V ,4~20mA 可選

  11

  供電

  DC +15V/24V 可選,流量計<400mA,控制器<600mA

  12

  電氣連接

  DB15

  13

  漏率

  1×10\u001F-8SCCSH




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