小型真空高低溫探針臺，高低溫真空探針臺，高溫400℃低溫-196℃，10微米探針尖，移動滑塊精度≤0.01mm
高低溫真空探針臺，能夠為測試樣品提供高真空和極 . 端高溫/低溫的測試環境，非常適合各種半導體材料、芯片和電子元器件的無損測試，應用方向有：真空&極 . 端溫度條件下的芯片/MEMS/NEMS測試；寬溫區材料或器件的IV/CV特性測試；LD/LED/PD測試；光譜特性測試；霍爾效應測量；可變磁場環境中電磁輸運特性測試；微波射頻測試；瞬態光電流響應測試；拉曼-瞬態熒光壽命成像；電-光效應測試；超導測試試驗等。
產品特點
◆高真空度，真空度優于1×10-3 Pa
◆高精度溫控系統，自動冷媒流量控制，-196℃到400℃溫度區間內精確控制樣品臺溫度
◆防輻射屏設計，保證樣品溫度均勻
◆兼容高倍率金相顯微鏡
◆采用液氮或氦氣壓縮機制冷
小型真空高低溫探針臺參數
真空腔體 | |
類型 | 加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃ |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
腔體內尺寸 | φ90x40mm |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） |
腔體抽氣口 | KF16 |
腔體進氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體出氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
樣品臺 | |
樣品臺材質 | 304不銹鋼 |
樣品臺尺寸 | 26X26mm |
樣品臺-視窗 距離 | 30mm（可選凹視窗間距15mm） |
樣品臺測溫傳感器 | A 級PT100鉑電阻 |
樣品臺溫度 | 室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃） |
樣品臺測溫誤差 | ±0.2℃ |
樣品臺變溫速率 | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值 |
溫控儀 | |
溫度顯示 | 7寸人機界面 |
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫） |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號輸入類型 | PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶） |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷） |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 |
探針 | |
電信號接頭 | 配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數量 | 4探針（可定做6探針） |
探針材質 | 鍍金鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 12mm ±6mm |
X軸控制精度 | ≤5μm |
Y軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Y軸控制精度 | ≤5μm |
Z軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數碼顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡放大+電子放大 |
顯微鏡放大倍數 | 100倍 |
顯微鏡工作間距 | 50-150mm |
相機分辨率 | 1080P 60幀 |
相機信號輸出 | HDMI輸出+USB輸出 |
LED可調光源 | LED光源 |
顯示屏 | 5寸 屏幕一體機 |
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