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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>勻膠機>EZ6 程控勻膠機

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EZ6 程控勻膠機

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      江蘇雷博科學儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以 高檔專業的實驗室儀器開發為目標的海歸創業企業。公司主營高檔實驗室儀器及半導體設備開發業務。公司技術 力量雄厚,人才濟濟,憑借雄厚的技術實力不斷進行新產品開發和創新實現, 在納米薄膜制備類儀器領域取得了顯著的市場地位。公司生產的高精度高可 靠性勻膠機榮獲江蘇省高新技術產品,是國內勻膠機全系列、多功能、定制 化服務的供應商

      公司生產和銷售不同領域的高檔科研儀器和工業半導體設備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設備品牌,主要有勻膠機、顯影機、 烤膠機、提拉機、噴膠機、涂膜機、狹縫涂布機等相關產品;L EB O science®是我們的工業半導體設備品牌,主要有勻膠機、顯影機、蝕刻機、 去膠機、清洗機等獨立柜式機臺及工業全自動機臺。 公司產品被廣泛應用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機光 電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導體及先進封裝等領域,具有核心技 術可靠、高性價比、定制化服務的競爭優勢。

 

勻膠機、顯影機、烤膠機、刻蝕機、清洗機

程控勻膠機 產品性能

1.轉速可控范圍:100-12000RPM,轉速分辨率:1RPM

2.大單步步長3000S,旋轉時間分辨率0.1S

3.加速度可控范圍:100-30000RPM/S

4.可處理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圓晶底物

5.4.3寸全彩觸摸屏,提供觸屏筆操作,中英文界面可選

6.可進行多步程序運行,多可存貯10組10步程序

7.HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內腔,帶排廢功能

8.SUS耐腐蝕不銹鋼機身,耐溶劑性PC透明蓋子

9.帶一只自動點膠端口,可升級自動點膠功能

10.100W直流無刷電機,寬電壓適用:AC100-230V輸入

11.帶真空和蓋子開關互鎖功能,確保操作安全

12.標配三種規格鋁合金真空載物盤(直徑10mm、25mm、55mm)

13.防堵膠功能設計,真空通道進膠安全保護功能

14.外形尺寸:256(W)*358(D)*258(H)


程控勻膠機 參數表

是一款高性能精密勻膠機,采用了*進的設計理念,配合精密的運動控制系統,可以實現高精度、高均勻度的勻膠操作。可以存貯10組程序,每組程序可達10步。所有運行參數如轉速、加速度、轉動時間、點膠機選擇等都可在觸屏上方便設置。


EZ6-S-EN嵌入式靈巧型EZ6勻膠機:

與EZ6技術參數*相同,分體嵌入式設計:

1.分體的EZ6勻膠機,主機與控制盒分開,用電纜連接

2.可嵌入手套箱或工作臺面下,降低操作高度

3.觸屏安裝在手套箱內或手套箱外可選




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