控制系統(tǒng)

控制方式

全自動控制（自動/手動切換）

PLC（標配）/PC（可選）

操作系統(tǒng)

Windows 10

觸摸屏

7寸

整機規(guī)格

尺寸

W1150×D1400×H1720mm

腔體

尺寸

W500×D636×H520mm

材質(zhì)

鋁合金（標配）/不銹鋼（可選）

電極

結(jié)構(gòu)尺寸

組合柜式， W458×D544×H425mm

分隔數(shù)量

8個料盒

托架

材質(zhì)

鋁合金（標配）/不銹鋼（可選）

形狀

平板式/滾輪式（可選）

真空計

皮拉尼式真空計

1個

流量計

MFC質(zhì)量流量控制器

2個；Ar、N₂、H₂（可選）

真空泵

機械油式旋片泵

1套

發(fā)生器

中頻/射頻

40KHz，0~1000W

13.56MHz，0~1000W

額定功率

整機峰值功率

7KW

機臺供電

三相五線式

AC-380V

選購品

干式泵、雙級旋片真空泵+羅茨泵（泵組）、托架、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標法蘭、陶瓷緊固件