FPTOR-EB-4P 電子束蒸發系統,EB-4P電子shu沉積系統
參考價 | ¥800000-¥1000000/ 件 |
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌孚光精儀
- 型號FPTOR-EB-4P
- 所在地上海市
- 廠商性質經銷商
- 更新時間2024/12/16 10:47:10
- 訪問次數 710
聯系方式:華小姐021-22799028 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 80萬-100萬 |
---|---|---|---|
應用領域 | 化工,能源,電子,汽車,綜合 |
電子束蒸發系統EB-4P也是電子束沉積系統,有四個容量不同的袖珍坩堝和各種電源。
電子束蒸發系統EB-4P*可定制,腔室可以設計成接受額外的PVD源。未使用的端口用法蘭堵塞,以便以后添加。準備好后,可以添加熱阻源或直流和射頻濺射或蝕刻。
電子束蒸發系統EB-4P是納米技術、光學、顯微鏡、分子束外延、功能和裝飾涂層等應用中沉積金屬、氧化物、磁性材料和電介質的理想選擇。
電子束蒸發系統EB-4P專為實驗室或研發、中試生產、大學研究或小規模生產量身定制。緊湊的結構使其成為潔凈室應用的理想選擇。
電子束蒸發系統EB-4P可生產多種材料的均勻粘附薄膜。電子束蒸發可在低污染的情況下產生優異的速率控制沉積,并具有多軸旋轉能力,可在任何尺寸或形狀的樣品上獲得最佳均勻性。
電子束蒸發系統EB-4P特點
電拋光不銹鋼腔室(D形盒)
帶手動快門的前門上的4“直徑觀察口
帶水冷坩堝的單/多槽電子束源(從4cc到75cc)
帶X-Y掃描控制器的高壓電源(3kW至15kW)
匹配雙級渦輪分子真空泵系統
旋轉葉片泵
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數字顯示和讀數的全量程真空計
半自動控制系統
可選項目
冷水機
具有樣本傳輸適應性的負載鎖定系統
多軸基板臺旋轉
石英燈加熱器(從300°C到800°C)
行星基臺
PLC控制系統
PC控制系統
水冷基板級
SQC 310膜厚監測器和沉積控制器
電動快門組件
大容量坩堝及電源
干式渦旋泵
低溫泵送系統
冷陰極或熱陰極電離計
可調尺寸和高度,適用于基板平臺
用于未來升級的額外備用法蘭
帶數字讀數的質量流量控制器
射頻清洗能力
現場掩模變換器