全自动离子溅射仪
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- 公司名称 江苏雷博科学仪器有限公司
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- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/9/23 15:17:56
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 5万-10万 |
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控制方式 | 触屏控制 | 样品仓尺寸 | 直径150mm*高度130mmmm |
样品台尺寸 | 直径55mmmm | 应用领域 | 化工,生物产业,能源,电气,综合 |
全自动离子溅射仪工作原理:
直流冷阴极二极管式,靶材处于常温,加负高压1-3kv,阳极接地。当接通高压,阴极发射电子,电子能量增加到1-3kev,轰击低真空中(3-10pA)的气体,使其电离,激发出的电子在电场中被加速,继续轰击气体,产生联级电离,形成等离子体。离子以1-3kev的能量轰击阴极靶,当其能量高于靶材原子的结合能时,靶材原子或者原子簇,脱离靶材,又经过与等离子体中的残余气体碰撞,因此方向各异,当落在样品表面时,可以在粗糙的样品表面形成厚度均一的金属薄膜,而且与样品的结合强度高。如果工作室中的气体持续流动,保持恒定压力,这时的离子流保持恒定。高压的功率决定了最大离子流,一般有最大离子流限制,用于保护高压电源。
全自动离子溅射仪的操作:
一般工作距离可调,距离越近,溅射速度越快,但热损伤会增加。
离子流的大小通过控制真空压力实现,真空度越低,I越大,溅射速度越快,原子结晶晶粒越粗,电子轰击样品(阳极)产生的热量越高;真空度越高,I越小,溅射速度越慢,原子结晶晶粒越细小,电子轰击样品产生的热量小。
加速电压为固定,也有可调的,加速电压越高,对样品热损伤越大。一般使用金属靶材的正比区域。
有些热敏样品,需要对样品区进行冷却,水冷或者帕尔贴冷却;也可以采用磁控装置,像电磁透镜一样把电子偏离样品。经过这样的改造,当然会增加很高的成本。可以在石蜡表面溅射一层金属,而没有任何损伤!
真空中的杂质越多,镀膜质量越差。一般黄金比较稳定,可以采用空气作为等离子气源,而其他很多靶材则需要惰性气体为好。
气体原子序数越高,动量越大,溅射越快,但晶粒会较粗,连续成膜的膜层较厚。
保持真空室的洁净对高质量的镀膜有很大好处。
不要让机械真空泵长期保持极限真空,否则容易反油。