一、等離子體介紹

1.1 產品原理

SPV-100真空等離子清洗機通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質來氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質，從而優化材料表面性能，實現清潔、改性、刻蝕等目的。

1.2 行業應用

6C行業：TP貼合、面板表面活化、ITO涂覆前表面清洗。

玻璃蓋板行業：AF鍍膜前處理、AF/AS溢鍍去除、油墨印刷。

二、產品介紹

2.1 產品概述

SPV-100真空等離子清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離化成等離子態，等離子體作用于產品表面，清洗產品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。

2.2 產品優勢

v 產品放置治具靈活多變，可適應不規則的產品。

v 水平電極設計，可滿足軟性產品處理需求。

v 低耗能、耗氣產品。

v 便捷的收放板方式。

v 真空系統集成，占地面積小。

v 合理的等離子反應空間，使處理更均勻。

v 集成的控制系統設計，使操作更方便。

2.3 產品結構

真空等離子體表面處理系統主要包括三個部分：真空腔及真空系統，等離子體發生器，控制系統。

（A）真空腔及真空發生系統

真空腔固定于機柜框架內，左右兩側為可拆門，因此內部的真空腔及真空系統的維修是極方便的。真空發生系統由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成，核心部件真空泵（真空泵組）。

（B）等離子體發生器

    等離子體發生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓，產生低溫等離子體。利用高頻轉換技術形成高頻電壓加到電極板上，當真空腔內達到一定真空度時，產生等離子體放電現象，放電后電路會自動調節電壓到適當值，保證電路正常穩定放電。

（C）控制系統

本系統使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設備的工藝流程控制：真空泵啟動->擋板閥開啟->達到設定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成。設備分自動和手動兩種方式。

2.4 產品規格

2.5 設備尺寸圖紙

2.5.1 主機尺寸圖紙

2.5.2 等離子腔體圖紙

三、規格要求

3.1 廠務規格要求

3.2 配置清單

3.3 驗收標準

3.4 損耗清單