產品概況

光學輪廓儀 Profilm3D 白光干涉儀以亞納米級分辨率對表面形貌做出高分辨率的測量。這些設備支持垂直掃描和相移干涉測量。使用TotalFocus技術，Profilm3D可以生成令人驚嘆的3D自然色彩圖像，并且每個像素都在焦點上。在Profilm3D測量技術中，測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑不相關，從而可在較大的視場中實現高分辨率測量。通過將多個視場拼接成到一個測量之中，可以進一步擴大測量面積。光學輪廓儀 Profilm3D的用戶界面和自動化功能簡單而新穎，適用于從研發到量產等各種不同的工作環境。我們的Profilm®軟件套件包括的云技術ProfilmOnline®網絡服務、Android和iOS移動應用程序以及*的Profilm桌面軟件，可提供靈活的數據存儲、可視化和分析解決方案。

主要功能

• 垂直掃描和相移干涉測量，可用于測量從納米到毫米的表面特征

• 長行程范圍的自動X-Y平臺，非常適合繪制分布圖和掃描拼接

• 行業的長壓電行程范圍內的自動對焦，用于掃描高度相差很多的多個表面

• 直觀的軟件套件，包括*的Profilm桌面、采用云技術的ProfilmOnline和移動應用程序，用于靈活的數據存儲、可視化和分析

• TotalFocus成像，即使在高度變化大于物鏡焦深的表面上，也能產生令人驚嘆的真彩圖像，并且每個像素都在焦點上

主要應用

• 臺階高度：從納米到毫米的3D臺階高度

• 紋理：3D粗糙度和波紋度

• 形式：3D弓形和形狀

• 真彩色：3D表面形貌的TotalFocus圖像

• 邊緣滾落：3D邊緣輪廓測量

• 缺陷檢視：3D缺陷表面形貌

工業用途

• 高校、研究實驗室和研究所

• 硅和化合物半導體

• 精密光學和機械

• 醫療設備

• LED：發光二極管

• 電力設備

• MEMS：微機電系統

• 數據存儲

• 汽車

• 更多：請與我們聯系，并提出您的要求

  
  

臺階高度

Filmetrics Profilm3D系列輪廓儀支持從納米級到毫米級的3D臺階高度的非接觸式測量。垂直掃描干涉技術能夠以納米級的分辨率測量較大臺階高度。采用相移干涉法可以快速測量亞納米級特征。Z-stitching干涉測量法可以將多個高分辨率掃描拼接組合成單個測量，以此對非常大的臺階進行快速測量。多種技術讓用戶能夠量化在蝕刻、濺射、沉積、旋涂等半導體工藝中去除或沉積的材料數量。

質地：粗糙度和波紋度

Filmetrics Profilm3D系列光學輪廓儀提供3D紋理的非接觸式測量，量化樣品的粗糙度和波紋度。相移模式非常適合極光滑的表面。軟件過濾器將測量結果分為粗糙度和波紋度分量，并計算均方根(RMS)粗糙度等參數。

形式：弓形與形狀

Filmetrics Profilm3D系列輪廓儀可以測量表面的3D形狀或彎曲度。該功能可用于測量透鏡的曲率半徑或髖關節或支架等醫療植入物的形狀。

TotalFocus

Filmetrics Profilm3D系列光學輪廓儀配有TotalFocus功能，可捕獲真彩色3D圖像，并且每個像素都在焦點上。此功能可用于劃分具有不同光學特性的材料之間的界限。